自動ステージ  Symetrie ヘキサポッド ステージ MAUKA

Symetrie社について

フランス国立計測研究所LNEのエンジニアによって、フランス ニームに2001年設立されたSymetrie社は6軸ヘキサポッドステージに特化したヘキサポッドステージメーカーです。最大6000kgの耐荷重の標準製品や産業界や研究機関からの厳しい基準に沿った高精度なヘキサポッドステージを製造、開発しています。

小径高精度ヘキサポッドステージ MAUKA

MAUKA は、最大 5 kg の耐荷重をサブマイクロメートルの分解能で位置決めするように設計されたコンパクトなヘキサポッドです。 直径は 107 mm、中間位置での高さは 198 mm です。直径を最小限に抑えるために、モーターが一列に取り付けられるヘキサグライド形状を使用しました。 MAUKA は、垂直、水平、またはその他の角度のあらゆる方向に動作します。 アブソリュートリニアエンコーダのおかげで、コントローラの電源を入れるたびにホーミング コマンドを実行する必要がありません。

仕様

XYストローク ±5mm
Zストローク ±10mm
チルト <±8°
回転(ZΘ) ±8°
繰り返し精度(XYZ) ±0.5μm 
繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±5μrad 
サイズ φ107mm 高さ(Z中間地点)198mm 開口φ30mm
耐荷重 5kg

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