半導体関連

手間のかかる工程、溶剤、残留接着剤の除去不要！　 UV 硬化型仮止め接着剤！

光硬化型樹脂　 PARQIT　UV 硬化型仮止め接着剤

Autex

高剛性！対物レンズ用アクチュエーター

自動アクチュエーター　　Piezosystem Jena　対物レンズ用アクチュエーター/フォーカシングポジショナー

	ストローク	分解能	センサータイプ
MIPOS 20	20um / 16um	0.04nm/1nm(SG)	SG
MIPOS 100	100um / 80um	0.2nm/2nm(SG)	SG
MIPOS 250	250um / 200um	0.5nm/5nm(SG)/1nm(CAP)	SG/CAP
nano MIPOS 400	400um / 320um	0.8nm/1nm(CAP)	CAP
MIPOS 500	500um / 400um	0.9nm/12nm(SG)	SG
MIPOS 600	600um / 500um	0.9nm/12nm(SG)	SG

Piezosystem Jena

最大4kW対応可能なデフォーマブルミラー!

最先端光学デバイス　Dynamic optics　デフォーマブルミラー

アパチャーサイズ	10～25㎜
ミラーサイズ	10mm ～ 200mm
アクチュエーター数	32～128
ミラーコーティング	metallic or dielectric (up to R>99.99%, high damage threshold)

Dynamic optics

材料	石英
サイズ	Φ25.4mm
頂点角度	90-179°
コーティング	UV, VIS, NIR, uncoated

材料	UVFS, IRFS
開口	Φ2mm-Φ15mm
対応波長	343nm-3μm

複数のビームの変調、偏光に！

超音波光変調器/偏向器　　Gooch&Housego　マルチチャンネル超音波光変調器 MCAOM

下記一覧にないモデルもございますので、お気軽にお問い合わせください。
カスタム品についてもご相談ください。

モデル	波長帯域		Ch数	Rise/fall time	開口	駆動周波数	結晶
AOMC 3160-8	UV	364nm	8	21ns	0.18mm	160MHz	Fused Silica
AOMC 125-24	UV	350-365nm	24	23ns	0.5mm	125MHz	Crystalline Quartz
AOMC 220-5	UV	413nm	5	16ns	0.24mm	220MHz	Crystalline Quartz
AOMC 220-4	UV	350-365nm	4	16ns	0.24mm	190-250MHz	Crystalline Quartz
AOMC 300-5	UV	413nm	5	10ns	0.2mm	300MHz	Crystalline Quartz
AOMC 3350-6	Visible	350-850nm	6	7ns	0.33mm	350MHz	Tellurium Dioxide

Gooch&Housego

世界最小級、わずか６ｇ！クローズドループ制御可能の高速アクチュエーター

ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター　　Xeryon　超音波ピエゾアクチュエータ

ストローク	5-185mm
保持力	１N/３N
アクチュエーター材質	陽極酸化アルミニウム（ハウジング）、ステンレススチール（ロッド、ハウジングカバー）
寸法	22.7 x 14.8 x 5.4 mm（アクチュエーター部分）

Xeryon

ハイエナジー&高繰り返しモノリシックキャビティピコ秒レーザー　Pico Spark (繰り返し周波数固定タイプ)

ピコ秒レーザー　Teemphotonics YAGレーザー(デモ機あり)

シリーズ	モデル名	エネルギー (μJ)	平均出力 (mW)	繰り返し (kHz)	パルス幅 (ps)	ピーク出力 (kW)
1064nm レーザー仕様
Pico Spark	HNP-70F	＞80	＞5000	＞70	＜600	＞130
532nm レーザー仕様
Pico Spark	HNG-70F	＞50	＞4000	＞70	＜550	＞100

Teem Photonics

対応波長帯域	257 ～ 10,600nm
中心周波数	40 ～ 600 MHz
開口	0.1mm ～ 9.6mm
媒質	TeO2, Crystaline-Quartz, Germanium

ハイエナジーピコ秒レーザー　Power Chip (繰り返し周波数固定タイプ & 可変タイプ)

ピコ秒レーザー　Teemphotonics YAGレーザー

シリーズ	モデル名	エネルギー (μJ)	平均出力 (mW)	繰り返し (kHz)	パルス幅 (ps)	ピーク出力 (kW)
1064nm レーザー仕様
Power Chip	PNP-M08010	>80	–	下記(A)参照	<500	>160
532nm レーザー仕様
Power Chip	PNG-M02010	>20	–	下記(A)参照	<400	>50
Power Chip	PNG-M4005	>35	–	下記(B)参照	<400	>80
355nm レーザー仕様
Power Chip	PNV-M02510	>25	–	下記(A)参照	<350	>60
Power Chip	PNV-M01050	>10	–	下記(C)参照	<350	>30
266nm レーザー仕様
Power Chip	PNU-M01210	>12	–	下記(A)参照	<350	>35
213nm レーザー仕様
Power Chip	PND-M00201	>2	–	下記(D)参照	<500	>4

Teem Photonics

繰り返し周波数可変小型モノリシックキャビティピコ秒レーザー　Micro Chip (繰り返し周波数可変タイプ)

ピコ秒レーザー　 Teemphotonics YAGレーザー

シリーズ	モデル名	エネルギー (μJ)	平均出力 (mW)	繰り返し (kHz)	パルス幅 (ps)	ピーク出力 (kW)
1064nm レーザー仕様
Micro Chip	STP-07E	>7	–	1Hz～4kHZ	<700	>10
532nm レーザー仕様
Micro Chip	STG-03E	>3	–	1Hz～4kHZ	<500	>6
355nm レーザー仕様
Micro Chip	STV-01E	>1	–	1Hz～4kHZ	<400	>2.5
Micro Chip	STV-02E	>2	–	1Hz～4kHZ	<600	>4
266nm レーザー仕様
Micro Chip	STU-01E	>1	–	1Hz～4kHZ	<400/td>	>2

Teem Photonics

小型高剛性3軸ステージ

自動ステージ　　ALIO Industries　XYZステージ

Xストローク	30㎜	60㎜
Yストローク	30㎜	60㎜
Zストローク	30㎜	30㎜
繰り返し精度	±30nm	±30nm
最大負荷	お問い合わせください。
走り精度	お問い合わせください。

ALIO Industries

ストローク	お問い合わせください。
繰り返し精度	お問い合わせください。
走り精度	お問い合わせください。

ストローク	6-50mm
繰り返し精度	±45nm
走り精度	お問い合わせください。
最大負荷	お問い合わせください。

リニアモーター搭載で超大口径アパチャ薄型ステージ

自動ステージ　　ALIO Industries　大口径アパチャ薄型ステージ

開口径	φ100, 300mm
変位角度	±7.5°,　±5°
繰り返し精度	< ±0.2秒　(nano Option時)
メカニカルエラー	お問い合わせください。
最大負荷	お問い合わせください。

ALIO Industries

ストローク	30-450㎜
繰り返し精度	±30nm
走り精度	お問い合わせください。
最大速度	お問い合わせください。

XYストローク	60-400mm
Zストローク	<206mm
チルト	<±30°
繰り返し精度	±80nm　(6D Point repeatability準拠）カスタムにてより高精度対応可能

波長	458-532nm
出力	3mW～200mW

ウルトラコンパクトサイズ、小型高出力Q-Switchナノ秒レーザー　

ナノ秒レーザー　　Compact Laser　固体レーザー　　（デモ機あり）

	1064-6-HF	1064-6-HE	1064-10-HF	1064-10-HE	1064-16-HF
Mode of operation	Pulsed	Pulsed	Pulsed	Pulsed	Pulsed
Power class	6W	6W	10W	10W	16W
Wavelength	1064nm	1064nm	1064nm	1064nm	1064nm
Beem quality	TEM₀₀	TEM₀₀	TEM₀₀	TEM₀₀	TEM₀₀
* M²	＜ 1.3	＜ 1.3	＜ 1.3	＜ 1.3	＜ 1.3
Polarization	Liner ＞ 100:1
Max pulse energy	350μJ	700μJ	350μJ	700μJ	350μJ
Minimal pulse width	10ns	8ns	10ns	12ns	10ns
Repetition rate	1HZ-500kHz	1HZ-100kHz	1HZ-500kHz	1HZ-100kHz	1HZ-500kHz
Aver output power	6W@50kHz	6W@50kHz	10W@50kHz	10W@50kHz	16W@60kHz
Laser class	4
Cooling	air cooler optional water cooled
Cooling system	thermo electric cooling
Electical ratings	24V DC
Power consumption	＜200W

	532-3-HF	532-3-HE	532-8-HF	532-8-HE	532-12-HF
Mode of operation	Pulsed	Pulsed	Pulsed	Pulsed	Pulsed
Power class	3W	3W	8W	8W	12W
Wavelength	532nm	532nm	532nm	532nm	532nm
Beem quality	TEM₀₀	TEM₀₀	TEM₀₀	TEM₀₀	TEM₀₀
* M²	＜ 1.3	＜ 1.3	＜ 1.3	＜ 1.3	＜ 1.3
Polarization	Liner ＞ 100:1
Max pulse energy	200μJ	550μJ	350μJ	550μJ	350μJ
Minimal pulse width	8ns	9ns	9ns	12ns	9ns
Repetition rate	1Hz-500kHz	1Hz-100kHz	1Hz-500kHz	1Hz-100kHz	1Hz-500kHz
Aver output power	3W@40kHz	3W@6kHz	8W@40kHz	8W@12kHz	12W@60kHz
Laser class	4
Cooling	air cooler optional water cooled
Cooling system	thermo electric cooling
Electical ratings	24V DC
Power consumption	＜200W

	355-1-HF	355-1-HE	355-3-HF	355-3-HE	355-6-HF
Mode of operation	Pulsed	Pulsed	Pulsed	Pulsed	Pulsed
Power class	1W	1W	3W	3W	6W
Wavelength	355nm	355nm	355nm	355nm	355nm
Beem quality	TEM₀₀	TEM₀₀	TEM₀₀	TEM₀₀	TEM₀₀
* M²	＜ 1.3	＜ 1.3	＜ 1.3	＜ 1.3	＜ 1.3
Polarization	Liner ＞ 100:1
Max pulse energy	80μJ	12μJ	8μJ	12μJ	8μJ
Minimal pulse width	4ns	12ns	8ns	12ns	8ns
Repetition rate	1Hz-500kHz	1Hz-100kHz	1Hz-500kHz	1Hz-100kHz	1Hz-500kHz
Aver output power	1W@40kHz	1W@40kHz	1W@40kHz	1W@40kHz	1W@40kHz
Laser class	4
Cooling	air cooler optional water cooled
Cooling system	thermo electric cooling
Electical ratings	24V DC
Power consumption	＜200W

Model	MONOLITH CORE 266_1
Mode of operation	Pulsed
Power class	1W
Wavelength	266nm
Max pulse energy	280μJ@1kHz
Minimal pulse width	6ns
Repetition rate	1Hz-100kHz
Aver output power	1W@10kHz
Cooling	air cooled
Electical ratings	24V DC

Compact Laser

高安定メカニカルマウント

マウント/ステージ　　Siskiyou　各種光学系（デモ機あり）

Siskiyou

製品情報