Products製品情報
ロボティクス
製品一覧
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ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース！360°回転も可能！Patented！高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
自動ステージ ALIO Industries ヘキサポッド ステージ
XYストローク ≧60mm Zストローク ≧6mm チルト <±30° 回転(ZΘ) 360° 繰り返し精度 ±80nm ALIO Industries
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小型高剛性Z軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries ボイスコイルモーター/クロスローラーガイドZ軸ステージ
ストローク 6-50mm 繰り返し精度 ±45nm 走り精度 お問い合わせください。 最大負荷 お問い合わせください。 ALIO Industries
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世界最小級0.89mmΦ、
超極細・超高画質のCMOSスコープが新発売！！微小ビデオカメラ Enable モニター付き超小型CMOSビデオスコープ(デモ機あり)
スコープ外径 1.54mm、1.05mm、0.98mm、0.89mm 画素数 16万画素(400×400) 画角 120° F値 4.0 被写界深度 2.5-60mm フレームレート 60fps 出力 HDMI/USB Enable
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評価用に最適なマウント付き1次元PSD
ポジションセンサー Sitek マウントホルダ付き1軸ポジションセンシングディテクター（デモ機あり）
Model 1L2.5 1L5 1L10 1L20 1L30 1L45 1L60 有効受光面サイズ
(mm)2.5×0.6 5.0×1.0 10×2.0 20.0×3.0 30.0×4.0 45.0×3.0 60.0×3.0 波長特性(nm) 400-1100/190-1100 応答速度
(ns)30 50 200 500 1000 2700 4500 暗電流
(nA)2 4 8 60 150 110 150 ノイズ電流
(pA/Hz)0.4 0.4 0.4 0.5 0.7 0.4 0.4 接合容量
(pF)1.6 5 15 45 90 105 135 Sitek
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評価用に最適なマウント付き2次元PSD
ポジションセンサー Sitek マウントホルダ付き2軸ポジションセンシングディテクター（デモ機あり）
Model 2L2 2L4 2L10 2L20 2L45 有効受光面サイズ
(mm)2.0×2.0 4.0×4.0 10×10 20.0×20.0 45.0×45.0 波長特性(nm) 400-1100/190-1100 応答速度
(ns)30 80 400 1600 7000 暗電流
(nA)50 50 100 200 400 ノイズ電流
(pA/Hz)1.3 1.3 1.3 1.5 1.5 接合容量
(pF)7 20 90 360 1600 Sitek
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1次元PSD
ポジションセンサー Sitek 1軸ポジションセンシングディテクター（デモ機あり）
Model 1L2.5 1L5 1L10 1L20 1L30 1L45 1L60 有効受光面サイズ
(mm)2.5×0.6 5.0×1.0 10×2.0 20.0×3.0 30.0×4.0 45.0×3.0 60×3.0 波長特性(nm) 400 – 1100 / 190 – 1100 応答速度(ns) 30 50 200 500 1000 2700 4500 暗電流(nA) 2 4 8 60 150 110 150 ノイズ電流(pA/Hz) 0.4 0.4 0.4 0.5 0.7 0.4 0.4 接合容量(pF) 1.6 5 15 45 90 105 135 Sitek
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2次元PSD
ポジションセンサー Sitek 2軸ポジションセンシングディテクター（デモ機あり）
Model 2L2 2L4 2L10 2L20 2L45 有効受光面サイズ
(mm)2.0×2.0 4.0×4.0 10×10 20.0×20.0 45.0×45.0 波長特性(nm) 400 – 1100 / 190 – 1100 応答速度(ns) 30 80 400 1600 7000 暗電流(nA) 50 50 100 200 400 ノイズ電流(pA/Hz) 1.3 1.3 1.3 1.5 1.5 接合容量(pF) 7 20 90 360 1600 Sitek
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3D形状測定に最適なPSDアレイ
ポジションセンサー Sitek PSDアレイ
model 1LA16 2,5_SU89 PSD数 16素子 有効受光面サイズ 2.5mm × 0.39mm 対応波長 400-1100nm 応答速度 70nsec Sitek
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UV対応可能なPSD
ポジションセンサー Sitek UV用PSD
Sitek
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小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SOLANO
XYストローク ±18mm Zストローク ±6.5mm チルト <±10° 回転(ZΘ) ±21° 繰り返し精度(XYZ) ±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±4μrad サイズ φ120mm 高さ(Z中間地点)104mm 開口φ32mm 耐荷重 5kg Symetrie
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小型高精度ヘキサポッドステージ BORA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BORA
XYストローク ±20mm Zストローク ±10mm チルト <±10° 回転(ZΘ) ±15° 繰り返し精度(XYZ) ±0.4μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±3.2μrad サイズ φ210mm 高さ(Z中間地点)145mm 開口φ36mm 耐荷重 10kg Symetrie
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小径高精度ヘキサポッドステージ MAUKA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ MAUKA
XYストローク ±5mm Zストローク ±10mm チルト <±8° 回転(ZΘ) ±8° 繰り返し精度(XYZ) ±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±5μrad サイズ φ107mm 高さ(Z中間地点)198mm 開口φ30mm 耐荷重 5kg Symetrie
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小型ダイナミックヘキサポッドステージ HEGOA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ HEGOA
XYストローク ±100mm Zストローク ±50mm チルト <±23° 回転(ZΘ) ±30° XYZスピード ±200mm/s チルト/回転スピード ±50mm/s サイズ φ322mm 高さ(Z中間地点)420mm 耐荷重 50kg 重量 3kg Symetrie
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シンプル高精度ヘキサポッドステージ PUNA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ PUNA
XYストローク ±30mm Zストローク ±20mm チルト <±11° 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) ±0.75μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±3.2μrad サイズ φ320mm 高さ(Z中間地点)200mm 開口φ144mm 耐荷重 25kg Symetrie
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高精度ヘキサポッドステージ BREVA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BREVA
XYストローク ±75mm Zストローク ±50mm チルト <±20° 回転(ZΘ) ±22° 繰り返し精度(XYZ) ±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±2.5μrad サイズ φ606mm 高さ(Z中間地点)350mm 開口φ250mm 耐荷重 200kg Symetrie
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高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA
XYストローク ±50mm/±200mm(長ストロークモデル) Zストローク ±25mm/±150mm(長ストロークモデル) チルト <±10°/±20°(長ストロークモデル) 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) ±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±2.5μrad/±1μrad(長ストロークモデル) サイズ φ320mm 高さ(Z中間地点)360mm/φ720mm 高さ(Z中間地点)640mm(長ストロークモデル) 耐荷重 400kg Symetrie
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高精度長ストロークヘキサポッドステージ SIRIUS
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SIRIUS
XYストローク ±150mm Zストローク ±100mm チルト <±16° 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) XY±3μm Z±2μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) RxRy±10μrad Rz±17.5μrad サイズ φ520mm 高さ(Z中間地点)750mm 耐荷重 500kg Symetrie
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高安定高精度ヘキサポッドステージ KUBAN
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ KUBAN
XYストローク ±75mm Zストローク ±45mm チルト <±5° 回転(ZΘ) ±10° 繰り返し精度(XYZ) XY±0.2μm Z±0.1μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) RxRy±2.5μrad Rz±4μrad サイズ φ450mm 高さ(Z中間地点)600mm 開口φ200mm 耐荷重 500kg Symetrie
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1500kg耐荷重高安定高精度長ストロークヘキサポッドステージ JORAN
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ JORAN
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ryスピード
(°/s)Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) JORAN BJ ±75 ±50 ±5 ±8 0.6 0.4 0.045 0.07 1500 JORAN UJ ±170 ±100 ±10 ±18 0.6 0.4 0.045 0.07 1500 Symetrie
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500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SURES
XYストローク ±8mm Zストローク ±6mm チルト <±1° 回転(ZΘ) ±1° 繰り返し精度(XY) ±0.25μm 繰り返し精度(Z) ±0.13μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±0.5μrad サイズ φ690mm 高さ(Z中間地点)360mm 耐荷重 500kg Symetrie
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コンパクトダイナミックヘキサポッドステージ NOTUS
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ NOTUS
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ry Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) NOTUS P ±250 ±200 ±25 ±30 800 300 50 200 NOTUS V ±250 ±200 ±25 ±30 1200 640 135 100 Symetrie
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ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ MISTRAL
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ryスピード
(°/s)Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) MISTRAL 600 ±400 ±300 ±30 ±40 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) 1000/500 MISTRAL 800 ±460 ±400 ±30 ±40 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) 1000/500 Symetrie
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小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SIROCCO
XYストローク ±600mm Zストローク ±500mm チルト,回転 <±40° XYスピード ±2000mm/s Zスピード ±1600mm/s チルトスピード ±200°/s 回転スピード ±100°/s サイズ φ3350mm 高さ(Z中間地点)2850mm 耐荷重 2000kg Symetrie
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パワフルヘキサポッドステージ AQUILON
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ AQUILON
XYストローク ±800mm Zストローク ±650mm チルト <±200° 回転(ZΘ) ±100° XYスピード ±1800mm/s Zスピード ±1600mm/s チルトスピード ±200°/s 回転スピード ±100°/s サイズ φ2100mm 高さ(Z中間地点)3311mm 耐荷重 6000kg Symetrie
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カスタムヘキサポッドステージ
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ カスタム品
Symetrie
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世界最小級、わずか６ｇ！クローズドループ制御可能の高速アクチュエーター
ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター Xeryon 超音波ピエゾアクチュエータ
ストローク 5-185mm 保持力 １N/5N/10N アクチュエーター材質 陽極酸化アルミニウム（ハウジング）、ステンレススチール（ロッド、ハウジングカバー） 寸法 22.7 x 14.8 x 5.4 mm（アクチュエーター部分） Xeryon
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小型、高推力のフリクションベースピエゾモーター
ピエゾアクチュエーター Piezomotor 超小型リニアモーター(デモ機あり）
PiezoMotor