ロボティクス

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  パワフルヘキサポッドステージ AQUILON

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ AQUILON

  XYストローク	±800mm
  Zストローク	±650mm
  チルト	<±200°
  回転(ZΘ)	±100°
  XYスピード	±1800mm/s
  Zスピード	±1600mm/s
  チルトスピード	±200°/s
  回転スピード	±100°/s
  サイズ	φ2100mm 高さ(Z中間地点)3311mm
  耐荷重	6000kg

  Symetrie

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  小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ SIROCCO

  XYストローク	±600mm
  Zストローク	±500mm
  チルト,回転	<±40°
  XYスピード	±2000mm/s
  Zスピード	±1600mm/s
  チルトスピード	±200°/s
  回転スピード	±100°/s
  サイズ	φ3350mm 高さ(Z中間地点)2850mm
  耐荷重	2000kg

  Symetrie

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  ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ MISTRAL

  モデル名	XYストローク (mm)	Zストローク (mm)	Rx Ryストローク (°)	Rzストローク (°)	XYスピード (mm/s)	Zスピード(mm/s)	Rx Ryスピード (°/s)	Rzスピード (°/s)	耐荷重(kg)
  MISTRAL 600	±400	±300	±30	±40	1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg)	600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg)	50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg)	70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg)	1000/500
  MISTRAL 800	±460	±400	±30	±40	1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg)	600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg)	50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg)	70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg)	1000/500

  Symetrie

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  コンパクトダイナミックヘキサポッドステージ NOTUS

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ NOTUS

  モデル名	XYストローク (mm)	Zストローク (mm)	Rx Ryストローク (°)	Rzストローク (°)	XYスピード (mm/s)	Zスピード(mm/s)	Rx Ry Rzスピード (°/s)	耐荷重(kg)
  NOTUS P	±250	±200	±25	±30	800	300	50	200
  NOTUS V	±250	±200	±25	±30	1200	640	135	100

  Symetrie

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  500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ SURES

  XYストローク	±8mm
  Zストローク	±6mm
  チルト	<±1°
  回転(ZΘ)	±1°
  繰り返し精度(XY)	±0.25μm
  繰り返し精度(Z)	±0.13μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±0.5μrad
  サイズ	φ690mm 高さ(Z中間地点)360mm
  耐荷重	500kg

  Symetrie

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  1500kg耐荷重高安定高精度長ストロークヘキサポッドステージ JORAN

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ JORAN

  モデル名	XYストローク (mm)	Zストローク (mm)	Rx Ryストローク (°)	Rzストローク (°)	XYスピード (mm/s)	Zスピード(mm/s)	Rx Ryスピード (°/s)	Rzスピード (°/s)	耐荷重(kg)
  JORAN BJ	±75	±50	±5	±8	0.6	0.4	0.045	0.07	1500
  JORAN UJ	±170	±100	±10	±18	0.6	0.4	0.045	0.07	1500

  Symetrie

• 

  高安定高精度ヘキサポッドステージ KUBAN

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ KUBAN

  XYストローク	±75mm
  Zストローク	±45mm
  チルト	<±5°
  回転(ZΘ)	±10°
  繰り返し精度(XYZ)	XY±0.2μm Z±0.1μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	RxRy±2.5μrad Rz±4μrad
  サイズ	φ450mm 高さ(Z中間地点)600mm　開口φ200mm
  耐荷重	500kg

  Symetrie

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  高精度長ストロークヘキサポッドステージ SIRIUS

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ SIRIUS

  XYストローク	±150mm
  Zストローク	±100mm
  チルト	<±16°
  回転(ZΘ)	±20°
  繰り返し精度(XYZ)	XY±3μm Z±2μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	RxRy±10μrad Rz±17.5μrad
  サイズ	φ520mm 高さ(Z中間地点)750mm
  耐荷重	500kg

  Symetrie

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  高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ ZONDA

  XYストローク	±50mm/±200mm(長ストロークモデル)
  Zストローク	±25mm/±150mm(長ストロークモデル)
  チルト	<±10°/±20°(長ストロークモデル)
  回転(ZΘ)	±20°
  繰り返し精度(XYZ)	±0.25μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±2.5μrad/±1μrad(長ストロークモデル)
  サイズ	φ320mm 高さ(Z中間地点)360mm/φ720mm 高さ(Z中間地点)640mm(長ストロークモデル)
  耐荷重	400kg

  Symetrie

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  高精度ヘキサポッドステージ BREVA

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ BREVA

  XYストローク	±75mm
  Zストローク	±50mm
  チルト	<±20°
  回転(ZΘ)	±22°
  繰り返し精度(XYZ)	±0.5μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±2.5μrad
  サイズ	φ606mm 高さ(Z中間地点)350mm　開口φ250mm
  耐荷重	200kg

  Symetrie

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  シンプル高精度ヘキサポッドステージ PUNA

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ PUNA

  XYストローク	±30mm
  Zストローク	±20mm
  チルト	<±11°
  回転(ZΘ)	±20°
  繰り返し精度(XYZ)	±0.75μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±3.2μrad
  サイズ	φ320mm 高さ(Z中間地点)200mm　開口φ144mm
  耐荷重	25kg

  Symetrie

• 

  小型ダイナミックヘキサポッドステージ HEGOA

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ HEGOA

  XYストローク	±100mm
  Zストローク	±50mm
  チルト	<±23°
  回転(ZΘ)	±30°
  XYZスピード	±200mm/s
  チルト/回転スピード	±50mm/s
  サイズ	φ322mm 高さ(Z中間地点)420mm
  耐荷重	50kg
  重量	3kg

  Symetrie

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  小径高精度ヘキサポッドステージ MAUKA

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ MAUKA

  XYストローク	±5mm
  Zストローク	±10mm
  チルト	<±8°
  回転(ZΘ)	±8°
  繰り返し精度(XYZ)	±0.5μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±5μrad
  サイズ	φ107mm 高さ(Z中間地点)198mm　開口φ30mm
  耐荷重	5kg

  Symetrie

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  小型高精度ヘキサポッドステージ BORA

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ BORA

  XYストローク	±20mm
  Zストローク	±10mm
  チルト	<±10°
  回転(ZΘ)	±15°
  繰り返し精度(XYZ)	±0.4μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±3.2μrad
  サイズ	φ210mm 高さ(Z中間地点)145mm　開口φ36mm
  耐荷重	10kg

  Symetrie

• 

  小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ SOLANO

  XYストローク	±18mm
  Zストローク	±6.5mm
  チルト	<±10°
  回転(ZΘ)	±21°
  繰り返し精度(XYZ)	±0.25μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±4μrad
  サイズ	φ120mm 高さ(Z中間地点)104mm　開口φ32mm
  耐荷重	5kg

  Symetrie

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  UV対応可能なPSD

  ポジションセンサー　　Sitek　UV用PSD

  Sitek

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  世界最小級、わずか６ｇ！クローズドループ制御可能の高速アクチュエーター

  ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター　　Xeryon　超音波ピエゾアクチュエータ

  ストローク	5-185mm
  保持力	１N/３N
  アクチュエーター材質	陽極酸化アルミニウム（ハウジング）、ステンレススチール（ロッド、ハウジングカバー）
  寸法	22.7 x 14.8 x 5.4 mm（アクチュエーター部分）

  Xeryon

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  小型、高推力のフリクションベースピエゾモーター

  ピエゾアクチュエーター　　Piezomotor　超小型リニアモーター(デモ機あり）

  PiezoMotor

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  3D形状測定に最適なPSDアレイ

  ポジションセンサー　　Sitek　PSDアレイ

  model	1LA16 2,5_SU89
  PSD数	16素子
  有効受光面サイズ	2.5mm × 0.39mm
  対応波長	400-1100nm
  応答速度	70nsec

  Sitek

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  2次元PSD

  ポジションセンサー　　Sitek　2軸ポジションセンシングディテクター（デモ機あり）

  Model	2L2	2L4	2L10	2L20	2L45
  有効受光面サイズ (mm)	2.0×2.0	4.0×4.0	10×10	20.0×20.0	45.0×45.0
  波長特性(nm)	400 – 1100 / 190 – 1100
  応答速度(ns)	30	80	400	1600	7000
  暗電流(nA)	50	50	100	200	400
  ノイズ電流(pA/Hz)	1.3	1.3	1.3	1.5	1.5
  接合容量(pF)	7	20	90	360	1600

  Sitek

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  1次元PSD

  ポジションセンサー　　Sitek　1軸ポジションセンシングディテクター（デモ機あり）

  Model	1L2.5	1L5	1L10	1L20	1L30	1L45	1L60
  有効受光面サイズ (mm)	2.5×0.6	5.0×1.0	10×2.0	20.0×3.0	30.0×4.0	45.0×3.0	60×3.0
  波長特性(nm)	400 – 1100 / 190 – 1100
  応答速度(ns)	30	50	200	500	1000	2700	4500
  暗電流(nA)	2	4	8	60	150	110	150
  ノイズ電流(pA/Hz)	0.4	0.4	0.4	0.5	0.7	0.4	0.4
  接合容量(pF)	1.6	5	15	45	90	105	135

  Sitek

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  評価用に最適なマウント付き2次元PSD

  ポジションセンサー　　Sitek　マウントホルダ付き2軸ポジションセンシングディテクター（デモ機あり）

  Model	2L2	2L4	2L10	2L20	2L45
  有効受光面サイズ (mm)	2.0×2.0	4.0×4.0	10×10	20.0×20.0	45.0×45.0
  波長特性(nm)	400-1100/190-1100
  応答速度 (ns)	30	80	400	1600	7000
  暗電流 (nA)	50	50	100	200	400
  ノイズ電流 (pA/Hz)	1.3	1.3	1.3	1.5	1.5
  接合容量 (pF)	7	20	90	360	1600

  Sitek

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  評価用に最適なマウント付き1次元PSD

  ポジションセンサー　　Sitek　マウントホルダ付き1軸ポジションセンシングディテクター（デモ機あり）

  Model	1L2.5	1L5	1L10	1L20	1L30	1L45	1L60
  有効受光面サイズ (mm)	2.5×0.6	5.0×1.0	10×2.0	20.0×3.0	30.0×4.0	45.0×3.0	60.0×3.0
  波長特性(nm)	400-1100/190-1100
  応答速度 (ns)	30	50	200	500	1000	2700	4500
  暗電流 (nA)	2	4	8	60	150	110	150
  ノイズ電流 (pA/Hz)	0.4	0.4	0.4	0.5	0.7	0.4	0.4
  接合容量 (pF)	1.6	5	15	45	90	105	135

  Sitek

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  小型高剛性Z軸ステージ

  自動ステージ　　ALIO Industries　ボイスコイルモーター/クロスローラーガイドZ軸ステージ

  ストローク	6-50mm
  繰り返し精度	±45nm
  走り精度	お問い合わせください。
  最大負荷	お問い合わせください。

  ALIO Industries

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  ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース！360°回転も可能！Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ

  自動ステージ　　ALIO Industries　ヘキサポッド ステージ

  XYストローク	≧60mm
  Zストローク	≧6mm
  チルト	<±30°
  回転(ZΘ)	360°
  繰り返し精度	±80nm

  ALIO Industries

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  世界最小級0.89mmΦ、超極細・超高画質のCMOSスコープが新発売！！

  微小ビデオカメラ　　Enable　モニター付き超小型CMOSビデオスコープ　　(デモ機あり)

  スコープ外径	1.54mm、1.05mm、0.98mm、0.89mm
  画素数	16万画素(400×400)
  画角	120°
  F値	4.0
  被写界深度	2.5-60mm
  フレームレート	60fps
  出力	HDMI/USB

  Enable, Inc.

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  世界最高速14マイクロ秒（70kHz）で高速オートフォーカス

  焦点距離可変レンズ　MITUTOYO　TAGレンズ

  焦点距離可変レンズ（TAGLENS-T1）
  共振周波数	70kHz
  有効開口径	φ11mm
  透過率	90％以上（λ400nm – 700 nm)
  設定可能屈折力振幅	0.7D – 1D
  設置可能姿勢	全方向
  性能保証温度範囲	15℃～30℃
  動作温度・湿度	10℃～40℃/40%～70％RH以下（結露無きこと）
  保管温度・湿度	-10℃～50℃／80％RH以下（結露無きこと）
  質量	約0.6㎏

  Mitutoyo