ウェハー加工/ダイシング

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  パワフルヘキサポッドステージ AQUILON

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ AQUILON

  XYストローク	±800mm
  Zストローク	±650mm
  チルト	<±200°
  回転(ZΘ)	±100°
  XYスピード	±1800mm/s
  Zスピード	±1600mm/s
  チルトスピード	±200°/s
  回転スピード	±100°/s
  サイズ	φ2100mm 高さ(Z中間地点)3311mm
  耐荷重	6000kg

  Symetrie

• 

  小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ SIROCCO

  XYストローク	±600mm
  Zストローク	±500mm
  チルト,回転	<±40°
  XYスピード	±2000mm/s
  Zスピード	±1600mm/s
  チルトスピード	±200°/s
  回転スピード	±100°/s
  サイズ	φ3350mm 高さ(Z中間地点)2850mm
  耐荷重	2000kg

  Symetrie

• 

  ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ MISTRAL

  モデル名	XYストローク (mm)	Zストローク (mm)	Rx Ryストローク (°)	Rzストローク (°)	XYスピード (mm/s)	Zスピード(mm/s)	Rx Ryスピード (°/s)	Rzスピード (°/s)	耐荷重(kg)
  MISTRAL 600	±400	±300	±30	±40	1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg)	600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg)	50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg)	70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg)	1000/500
  MISTRAL 800	±460	±400	±30	±40	1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg)	600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg)	50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg)	70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg)	1000/500

  Symetrie

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  コンパクトダイナミックヘキサポッドステージ NOTUS

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ NOTUS

  モデル名	XYストローク (mm)	Zストローク (mm)	Rx Ryストローク (°)	Rzストローク (°)	XYスピード (mm/s)	Zスピード(mm/s)	Rx Ry Rzスピード (°/s)	耐荷重(kg)
  NOTUS P	±250	±200	±25	±30	800	300	50	200
  NOTUS V	±250	±200	±25	±30	1200	640	135	100

  Symetrie

• 

  500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ SURES

  XYストローク	±8mm
  Zストローク	±6mm
  チルト	<±1°
  回転(ZΘ)	±1°
  繰り返し精度(XY)	±0.25μm
  繰り返し精度(Z)	±0.13μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±0.5μrad
  サイズ	φ690mm 高さ(Z中間地点)360mm
  耐荷重	500kg

  Symetrie

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  1500kg耐荷重高安定高精度長ストロークヘキサポッドステージ JORAN

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ JORAN

  モデル名	XYストローク (mm)	Zストローク (mm)	Rx Ryストローク (°)	Rzストローク (°)	XYスピード (mm/s)	Zスピード(mm/s)	Rx Ryスピード (°/s)	Rzスピード (°/s)	耐荷重(kg)
  JORAN BJ	±75	±50	±5	±8	0.6	0.4	0.045	0.07	1500
  JORAN UJ	±170	±100	±10	±18	0.6	0.4	0.045	0.07	1500

  Symetrie

• 

  高安定高精度ヘキサポッドステージ KUBAN

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ KUBAN

  XYストローク	±75mm
  Zストローク	±45mm
  チルト	<±5°
  回転(ZΘ)	±10°
  繰り返し精度(XYZ)	XY±0.2μm Z±0.1μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	RxRy±2.5μrad Rz±4μrad
  サイズ	φ450mm 高さ(Z中間地点)600mm　開口φ200mm
  耐荷重	500kg

  Symetrie

• 

  高精度長ストロークヘキサポッドステージ SIRIUS

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ SIRIUS

  XYストローク	±150mm
  Zストローク	±100mm
  チルト	<±16°
  回転(ZΘ)	±20°
  繰り返し精度(XYZ)	XY±3μm Z±2μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	RxRy±10μrad Rz±17.5μrad
  サイズ	φ520mm 高さ(Z中間地点)750mm
  耐荷重	500kg

  Symetrie

• 

  高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ ZONDA

  XYストローク	±50mm/±200mm(長ストロークモデル)
  Zストローク	±25mm/±150mm(長ストロークモデル)
  チルト	<±10°/±20°(長ストロークモデル)
  回転(ZΘ)	±20°
  繰り返し精度(XYZ)	±0.25μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±2.5μrad/±1μrad(長ストロークモデル)
  サイズ	φ320mm 高さ(Z中間地点)360mm/φ720mm 高さ(Z中間地点)640mm(長ストロークモデル)
  耐荷重	400kg

  Symetrie

• 

  高精度ヘキサポッドステージ BREVA

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ BREVA

  XYストローク	±75mm
  Zストローク	±50mm
  チルト	<±20°
  回転(ZΘ)	±22°
  繰り返し精度(XYZ)	±0.5μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±2.5μrad
  サイズ	φ606mm 高さ(Z中間地点)350mm　開口φ250mm
  耐荷重	200kg

  Symetrie

• 

  シンプル高精度ヘキサポッドステージ PUNA

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ PUNA

  XYストローク	±30mm
  Zストローク	±20mm
  チルト	<±11°
  回転(ZΘ)	±20°
  繰り返し精度(XYZ)	±0.75μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±3.2μrad
  サイズ	φ320mm 高さ(Z中間地点)200mm　開口φ144mm
  耐荷重	25kg

  Symetrie

• 

  小型ダイナミックヘキサポッドステージ HEGOA

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ HEGOA

  XYストローク	±100mm
  Zストローク	±50mm
  チルト	<±23°
  回転(ZΘ)	±30°
  XYZスピード	±200mm/s
  チルト/回転スピード	±50mm/s
  サイズ	φ322mm 高さ(Z中間地点)420mm
  耐荷重	50kg
  重量	3kg

  Symetrie

• 

  小径高精度ヘキサポッドステージ MAUKA

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ MAUKA

  XYストローク	±5mm
  Zストローク	±10mm
  チルト	<±8°
  回転(ZΘ)	±8°
  繰り返し精度(XYZ)	±0.5μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±5μrad
  サイズ	φ107mm 高さ(Z中間地点)198mm　開口φ30mm
  耐荷重	5kg

  Symetrie

• 

  小型高精度ヘキサポッドステージ BORA

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ BORA

  XYストローク	±20mm
  Zストローク	±10mm
  チルト	<±10°
  回転(ZΘ)	±15°
  繰り返し精度(XYZ)	±0.4μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±3.2μrad
  サイズ	φ210mm 高さ(Z中間地点)145mm　開口φ36mm
  耐荷重	10kg

  Symetrie

• 

  小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO

  自動ステージ　 Symetrie　ヘキサポッド ステージ SOLANO

  XYストローク	±18mm
  Zストローク	±6.5mm
  チルト	<±10°
  回転(ZΘ)	±21°
  繰り返し精度(XYZ)	±0.25μm
  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)	±4μrad
  サイズ	φ120mm 高さ(Z中間地点)104mm　開口φ32mm
  耐荷重	5kg

  Symetrie

• 

  次世代材料加工向けのフェムト秒レーザー

  フェムト秒レーザー　IRADION　ファイバーレーザー

  	515-15-Yb-2500
  出力	15 W @ 2500 kHz
  波長	515 nm
  ビーム品質	TEM00
  M²	< 1.5
  パルス幅	500 fs – 4 ps(ソフトウェアにより調整可能)
  パルスエナジー	15 µJ @ 1000 kHz
  繰り返し周波数	Single Shot to 2500 kHz

  	1030-25-Yb-2500
  出力	25 W @ 2500 kHz
  波長	1030 nm
  ビーム品質	TEM00
  M²	< 1.5
  パルス幅	500 fs – 4 ps(ソフトウェアにより調整可能)
  パルスエナジー	25 µJ @ 1000 kHz
  繰り返し周波数	Single Shot to 2500 kHz

  	1950-8-T-2500	1950-8-T-2500-LP
  出力	8 W @ 2500 kHz	8 W @ 2500 kHz
  波長	1950 nm	1950 nm
  ビーム品質	TEM00	TEM00
  M²	< 1.5	< 1.5
  パルス幅	500 fs +/- 100 fs	500 fs +/- 100 fs
  パルスエナジー	4 µJ @ 2000 kHz	4 µJ @ 2000 kHz
  繰り返し周波数	Single Shot to 2500 kHz	Single Shot to 2500 kHz

  IRADION

• 

  長寿命Q-Switchナノ秒レーザー　

  ナノ秒レーザー IRADION　固体レーザー　　

  	355-8-V-60	355-6-V-80	355-3-V-150	355-3-V	355-1-V-400
  出力	8 W @ 60 kHz	6 W @ 80 kHz	3 W @ 150 kHz	3 W @ 40 kHz	1 W @ 400 kHz
  波長	355 nm	355 nm	355 nm	355 nm	355 nm
  ビーム品質	TEM00	TEM00	TEM00	TEM00	TEM00
  M²	< 1.4	< 1.3	< 1.3	< 1.3	< 1.4
  パルスエナジー	133 µJ @ 60 kHz	75 µJ @ 80 kHz	20 µJ @ 150 kHz	75 µJ @ 40 kHz	2.5 µJ @ 400 kHz
  パルス幅	< 25 ns @ 60 kHz	< 35 ns @ 80 kHz	< 35 ns @ 150 kHz	< 35 ns @ 40 kHz	< 60 ns @ 400 kHz
  繰り返し周波数	1 – 300 kHz	1 – 300 kHz	1 – 300 kHz	1 – 300 kHz	1 – 500 kHz

  	532-20-V	532-20-V-100	532-10-V	532-10-V-20	532-10-V-SP	532-18-Y
  出力	20 W @ 40 kHz	20 W @ 100 kHz	10 W @ 40 kHz	10 W @ 20 kHz	10 W @ 40 kHz	18 W @ 10 kHz
  波長	532 nm	532 nm	532 nm	532 nm	532 nm	532 nm
  ビーム品質	TEM00	TEM00	TEM00	TEM00	TEM00	TEM00
  M²	< 1.3	< 1.4	< 1.2	< 1.2	< 1.2	< 1.3
  パルスエナジー	500 µJ @ 40 kHz	200 µJ @ 100 kHz	250 µJ @ 40 kHz	500 µJ @ 20 kHz	250 µJ @ 40 kHz	1800 µJ @ 10 kHz
  パルス幅	< 20 ns @ 40 kHz	< 40 ns @ 100 kHz	< 30 ns @ 40 kHz	< 10 ns @ 20 kHz	< 20 ns @ 40 kHz	< 40 ns @ 10 kHz
  繰り返し周波数	1 – 500 kHz	1 – 500 kHz	1 – 300 kHz	1 – 300 kHz	1 – 300 kHz	1 – 100 kHz

  	1064-25-V	1064-20-V-20	1064-16-V	1064-16-V-LP	1064-20-Y	1064-12-Y-LP
  出力	23 W @ 50 kHz	20 W @ 20 kHz	14 W @ 50 kHz	15 W @ 50 kHz	18 W @ 10 kHz	12 W @ 10 kHz
  波長	1064 nm	1064 nm	1064 nm	1064 nm	1064 nm	1064 nm
  ビーム品質	TEM00	TEM00	TEM00	TEM00	TEM00	TEM00
  M²	< 1.2	< 1.2	< 1.2	< 1.2	< 1.2	< 1.2
  パルス幅	< 40 ns @ 50 kHz	< 10 ns @ 20 kHz	< 45 ns @ 50 kHz	< 100 ns @ 50 kHz	< 40 ns @ 10 kHz	< 100 ns
  パルスエナジー	460 µJ @ 50 kHz	1000 µJ @ 20 kHz	280 µJ @ 50 kHz	300 µJ @ 50 kHz	1800 µJ @ 10 kHz	1.2 mJ @ 10 kHz
  繰り返し周波数	1 – 300 kHz	1 – 60 kHz	1 – 300 kHz	1 – 150 kHz	1 – 50 kHz	1 – 20 kHz

  	1342-8-V
  出力	8 W @ 20 kHz
  波長	1342 nm
  ビーム品質	TEM00
  M²	M² < 1.2
  パルス幅	< 80 ns @ 20 kHz
  パルスエナジー	400 µJ @ 20 kHz
  繰り返し周波数	1 – 50 kHz

  IRADION

• 

  超小型Q-Switchナノ秒レーザー　

  ナノ秒レーザー IRADION　超小型固体レーザー　　

  	1064-6-V	1064-3-V
  出力	6W@100kHz	3W@100kHz
  波長	1064nm	1064nm
  ビーム品質	TEM00	TEM00
  * M2	＜ 1.2	＜ 1.2
  パルスエナジー	100μJ@50kHz	50μJ@50kHz
  繰返し周波数	1HZ-200kHz	1HZ-200kHz

  	532-5-V	532-2-V	532-2-Y
  出力	5W@50kHz	2W@50kHz	2W@10kHz
  波長	532nm	532nm	532nm
  ビーム品質	TEM00	TEM00	TEM00
  * M2	＜ 1.3	＜ 1.3	＜ 1.3
  パルスエナジー	100μJ@50kHz	40μJ@50kHz	200μJ@10kHz
  パルス幅	<12ns@50kHz	<12ns@50kHz	<15ns@10kHz
  繰返し周波数	1Hz-200kHz	1Hz-200kHz	1Hz-100kHz

  	355-1-V	355-0.3-V	355-0.3-Y
  出力	1W@50kHz	0.3W@50kHz	0.3W@10kHz
  波長	355nm	355nm	355nm
  ビーム品質	TEM00	TEM00	TEM00
  * M2	＜ 1.3	＜ 1.3	＜ 1.3
  パルスエナジー	20μJ@50kHz	6μJ@50kHz	30μJ@10kHz
  パルス幅	<12ns@50kHz	<10ns@50kHz	<13ns@10kHz
  繰返し周波数	1Hz-200kHz	1Hz-200kHz	1Hz-100kHz

  IRADION

• 

  高出力Q-Switchナノ秒レーザー　

  ナノ秒レーザー IRADION　固体レーザー　　

  	1342-8-V
  出力	8W
  波長	1342nm
  ビーム品質	TEM00
  * M2	＜ 1.4
  パルスエナジー	100μJ
  繰返し周波数	1HZ-100kHz

  	1064-30-V
  出力	30W
  波長	1064nm
  ビーム品質	TEM00
  * M2	＜ 1.2
  パルスエナジー	375μJ
  パルス幅	30ns
  繰返し周波数	1Hz-150kHz

  	532-40-V	532-30-V	532-25-V-300
  出力	40W	30W	25W
  波長	532nm	532nm	532nm
  ビーム品質	TEM00	TEM00	TEM00
  * M2	＜ 1.4	＜ 1.4	＜ 1.4
  パルスエナジー	1000μJ	750μJ	83μJ
  パルス幅	15ns	20ns	100ns
  繰返し周波数	1Hz-400kHz	1Hz-400kHz	1Hz-400kHz

  IRADION

• 

  位置ずれの気にならない硬化収縮率の低い光硬化樹脂！

  光硬化型樹脂 　 PARQIT　 低硬化収縮率エポキシ系接着剤

  Autex

• 

  手間のかかる工程、溶剤、残留接着剤の除去不要！　再利用可能でSDGsな UV 硬化型仮止め接着剤！

  光硬化型樹脂 　 PARQIT　UV 硬化型仮止め接着剤

  Autex

• 

  高剛性！対物レンズ用アクチュエーター

  自動アクチュエーター　　Piezosystem Jena　対物レンズ用アクチュエーター/フォーカシングポジショナー

  	ストローク	分解能	センサータイプ
  MIPOS 20	20um / 16um	0.04nm/1nm(SG)	SG
  MIPOS 100	100um / 80um	0.2nm/2nm(SG)	SG
  MIPOS 250	250um / 200um	0.5nm/5nm(SG)/1nm(CAP)	SG/CAP
  nano MIPOS 400	400um / 320um	0.8nm/1nm(CAP)	CAP
  MIPOS 500	500um / 400um	0.9nm/12nm(SG)	SG
  MIPOS 600	600um / 500um	0.9nm/12nm(SG)	SG

  Piezosystem Jena

• 

  最大4kW対応可能なデフォーマブルミラー!

  最先端光学デバイス/アダプティブオプティクス　Dynamic optics　デフォーマブルミラー

  アパチャーサイズ	10～25㎜
  ミラーサイズ	10mm ～ 200mm
  アクチュエーター数	32～128
  ミラーコーティング	metallic or dielectric (up to R>99.99%, high damage threshold)

  Dynamic optics

• 

  これでアウトガス対策もばっちり！接着剤レス波長板！

  レーザー用オプティクス　 Autex　 接着剤レス波長板

  Autex

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  高精度・高損傷閾値を持つ平板型アキシコンレンズ（波長範囲330-2000nm, クリアアパチャー最大直径15mm）

  最先端光学デバイス Altechna アキシコンレンズ

  材料	石英
  サイズ	Φ25.4mm
  頂点角度	90-179°
  コーティング	UV, VIS, NIR, uncoated

  Altechna

• 

  高出力レーザー対応アジマス、ラジアルコンバーター！

  アジマス、ラジアルコンバーター　Altechna　S-waveplate

  材料	UVFS, IRFS
  開口	Φ2mm-Φ15mm
  対応波長	343nm-3μm

  Altechna

• 

  複数のビームの変調、偏光に！

  音響光学素子　　Gooch&Housego　マルチチャンネル超音波光変調器 MCAOM

  下記一覧にないモデルもございますので、お気軽にお問い合わせください。
  カスタム品についてもご相談ください。

  モデル	波長帯域		Ch数	Rise/fall time	開口	駆動周波数	結晶
  AOMC 3160-8	UV	364nm	8	21ns	0.18mm	160MHz	Fused Silica
  AOMC 125-24	UV	350-365nm	24	23ns	0.5mm	125MHz	Crystalline Quartz
  AOMC 220-5	UV	413nm	5	16ns	0.24mm	220MHz	Crystalline Quartz
  AOMC 220-4	UV	350-365nm	4	16ns	0.24mm	190-250MHz	Crystalline Quartz
  AOMC 300-5	UV	413nm	5	10ns	0.2mm	300MHz	Crystalline Quartz
  AOMC 3350-6	Visible	350-850nm	6	7ns	0.33mm	350MHz	Tellurium Dioxide

  Gooch&Housego

• 

  高出力用レーザーパワーアッテネーター

  レーザー用オプティクス　Autex　高出力用レーザーパワーアッテネーター

  Autex

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  圧倒的に高い回折効率の超音波光変調器、周波数シフター!出力の調整、パルスピック、様々なご用途に！

  音響光学素子　　Gooch&Housego AOモジュレーター AOM /超音波光変調器、周波数シフター

  対応波長帯域	257 ～ 10,600nm
  中心周波数	40 ～ 600 MHz
  開口	0.1mm ～ 9.6mm
  媒質	TeO2, Crystaline-Quartz, Germanium

  Gooch&Housego

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  繰り返し周波数可変 小型モノリシックキャビティピコ秒レーザー　Micro Chip (繰り返し周波数可変タイプ)

  ピコ秒レーザー　 Teemphotonics YAGレーザー

  シリーズ	モデル名	エネルギー (μJ)	平均出力 (mW)	繰り返し (kHz)	パルス幅 (ps)	ピーク出力 (kW)
  1064nm レーザー仕様
  Micro Chip	STP-07E	>7	–	1Hz～4kHZ	<700	>10
  532nm レーザー仕様
  Micro Chip	STG-03E	>3	–	1Hz～4kHZ	<500	>6
  355nm レーザー仕様
  Micro Chip	STV-01E	>1	–	1Hz～4kHZ	<400	>2.5
  Micro Chip	STV-02E	>2	–	1Hz～4kHZ	<600	>4
  266nm レーザー仕様
  Micro Chip	STU-01E	>1	–	1Hz～4kHZ	<400/td>	>2

  Teem Photonics

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  小型高剛性3軸ステージ

  自動ステージ　　ALIO Industries　XYZステージ

  Xストローク	30㎜	60㎜
  Yストローク	30㎜	60㎜
  Zストローク	30㎜	30㎜
  繰り返し精度	±30nm	±30nm
  最大負荷	お問い合わせください。
  走り精度	お問い合わせください。

  ALIO Industries

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  小型高剛性Z軸ステージ

  自動ステージ　　ALIO Industries　ボイスコイルモーター/クロスローラーガイドZ軸ステージ

  ストローク	6-50mm
  繰り返し精度	±45nm
  走り精度	お問い合わせください。
  最大負荷	お問い合わせください。

  ALIO Industries

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  リニアモーター搭載で超大口径アパチャ薄型ステージ

  自動ステージ　　ALIO Industries　大口径アパチャ薄型ステージ

  開口径	φ56～312mm
  分解能	0.01-0.04 arc-sec
  繰り返し精度	～ ±30nm

  ALIO Industries

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  True nano Tech 薄型高剛性ステージ

  自動ステージ　　ALIO Industries　XYステージ（デモ機あり）

  ストローク	30-450㎜
  繰り返し精度	±30nm
  分解能	<5nm
  最大速度	0.5-1.0m/sec

  ALIO Industries

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  ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース！360°回転も可能！Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ

  自動ステージ　　ALIO Industries　ヘキサポッド ステージ

  XYストローク	≧60mm
  Zストローク	≧6mm
  チルト	<±30°
  回転(ZΘ)	360°
  繰り返し精度	±80nm

  ALIO Industries

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  完全Reflectiveタイプのビームシェイパー。Reflective光学系なので、極短パルスレーザーに最適。

  最先端光学デバイス　Cailabs　ビームシェイパー

  Cailabs