自動ステージ  ALIO Industries ヘキサポッド ステージ

ALIO Industries社について

各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。 レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。

Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ

ALIO Industries社のパテントテクノロジー。パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメント等のアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしております。

製品特徴


  • 長ストロークのパラレルキネマティック

    技術的にはメーターストロークのXYが可能(スタンダードでも400㎜)。Z: <205mm, Θx, θy:<40°, θz: 360°のストロークを誇るTrue nanoステージ。組み合わせで小型タイプから大型タイプまでラインナップ。


  • ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッド

    キネマティックな演算をコントローラーに埋め込んでいる為、ユーザーは座標制御でコントロールが可能。起動中に回転軸(TCP)をソフトウエアから任意の座標に設定可能、これにより動作を止めることなく、自由度の高い動作が可能。


  • 高性能モーター/光学エンコーダー採用

    欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。


  • Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード

    多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。


  • 様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。

    ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。

仕様

XYストローク 60-400mm
Zストローク <206mm
チルト <±30°
繰り返し精度 ±80nm (6D Point repeatability準拠)
カスタムにてより高精度対応可能

詳細仕様はお問い合わせください。

ダウンロード資料

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注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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