長寿命でノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いた精密ステージです。ほとんどのピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、完全に無音にします。またXeryon製の回転やリニアステージの組み合わせやインストール操作がとても簡単です。
自動ステージ Xeryon ピエゾ超音波ステージ
稼働軸 | 3軸 |
---|---|
ストローク | 10~120mm |
分解能 | 1.25µm~1nm |
推進力 | 1~3N |
サイズ | 30x34x13㎜~120x49x13㎜ |
真空オプション | 10^-6mbar |
Xeryon