自動ステージ Piezosystem Jena オリエンテーションフリーピエゾステージ
Piezosystem Jena社について
ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型３軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。
オリエンテーションフリーブロックタイプピエゾステージ
剛性の高いヒンジ構造をダイレクトに使用することによって、コンパクトに組み上げることのできるPZTステージ。ストレンゲージセンサー搭載モデルでナノメーターレベルの位置決めが可能。
製品特徴
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様々なストロークを用意
最大ストローク：100um
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独自フレクシャヒンジデザイン
独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。長ストロークながら、高い共振周波数のステージ。組み上げて多軸のすることも可能。
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エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御
ストレンゲージセンサー(歪タイプ)、キャパシタンスセンサー(静電容量タイプ)を選択できて、用途、予算で選択可能。
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オリエンテーションフリーでXYZ軸自由に使用可能
剛性の高いヒンジでプリロードが組み込まれているので、水平、垂直どちらの方向にも使用可。組み上げて、XYZ3軸ステージで使用も可能。
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真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応
ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。
仕様
| ストローク | 40-100um |
|---|---|
| 共振周波数 | <1320Hz |
| センサーオプション | ストレンゲージタイプ |
詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
| モデル | ストローク[um] | 分解能[nm] | 最大発生力[N] | センサータイプ |
|---|---|---|---|---|
| PU40 | 40 | 0.08 | 32 | – |
| PU40 SG | 32 | 0.08 / 0.8 | 32 | SG |
| PU90 | 90 | 0.18 | 135 | – |
| PU90 SG | 72 | 0.18 / 1.8 | 135 | SG |
| PU100 | 100 | 0.2 | 135 | – |
| PU100 SG | 80 | 0.2 / 2 | 135 | SG |
| PU65 HR | 65 | for Scan | 48 | – |
ダウンロード資料
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注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
