ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型3軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。
自動ステージ Piezosystem Jena オリエンテーションフリーピエゾステージ
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カテゴリ:
アプリケーション:
製品特徴
仕様
ストローク | 40-100um |
---|---|
共振周波数 | <1320Hz |
センサーオプション | ストレンゲージタイプ |
詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
モデル | ストローク[um] | 分解能[nm] | 最大発生力[N] | センサータイプ |
---|---|---|---|---|
PU40 | 40 | 0.08 | 32 | – |
PU40 SG | 32 | 0.08 / 0.8 | 32 | SG |
PU90 | 90 | 0.18 | 135 | – |
PU90 SG | 72 | 0.18 / 1.8 | 135 | SG |
PU100 | 100 | 0.2 | 135 | – |
PU100 SG | 80 | 0.2 / 2 | 135 | SG |
PU65 HR | 65 | for Scan | 48 | – |
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
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Piezosystem Jena社について

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