自動ステージ　　Piezosystem Jena　XYZ3軸ピエゾステージ

メーカー：
Piezosystem Jena
カテゴリ：

Piezosystem Jena社について

ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型３軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。

小型長ストロークXYZ3軸ピエゾステージ

Piezosystem Jenaが世界に先駆けて発表した3軸ピエゾステージ。11㎜キューブサイズの超小型モデルから、10㎏以上の荷重を使用できる大型モデルまで幅広いラインナップ。

製品特徴

  • 様々なストロークを用意

    最大ストローク：400um

  • 独自フレクシャヒンジデザイン

    独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。長ストロークながら、コンパクトで高い共振周波数のステージ。

  • コンパクトデザインで組込みにさ最適

    長ストロークながら、コンパクトなステージでお持ちの光学系や顕微鏡に組込みが容易。

  • エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御

    ストレンゲージセンサー(歪タイプ)、キャパシタンスセンサー(静電容量タイプ)を選択できて、用途、予算で選択可能。

  • 真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応

    ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。宇宙空間での使用実績もあります。

  • 様々な用途に対応する大開口モデル

    最大有効径は150ｘ150㎜のモデルもあります。

仕様

モデル ストロークum(オープン/クローズ) 開口 センサータイプ
MicroTritor 9 – –
miniTritor 38 – –
Tritor38 38/30 – SG
Tritor50 50/40 – –
Tritor100 100/80 – SG, CAP
Tritor102 100/80 φ40㎜ SG, CAP
Tritor320 50X50Y400Z/40X40Y320Z 150x150mm CAP
Tritor400 400/320 12.5㎜ SG, CAP

詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

ダウンロード資料

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注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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