自動ステージ Piezosystem Jena 回転ステージ
Piezosystem Jena社について
ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型３軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。
高剛性精密回転ピエゾステージ
ダイレクトピエゾドライブを利用したピエゾ回転ステージ。ダイレクトドライブの高剛性を利用して、高剛性を達成。
製品特徴
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11mradのストロークを用意
ステージ中心を精密に回転軸に設計。
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独自フレクシャヒンジデザイン
独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。コンパクトで高い共振周波数のステージ。
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エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御
ストレンゲージセンサー(歪タイプ)オプションがあり、サイズアップなくセンサーを内蔵可能。最小分解能は0.02urad。
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光軸等で使いやすい中空ステージ
回転中心に3㎜のアパチャがあるのでレーザー光等を通すことができるので、結晶等の微細な角度が影響する研究に最適です。
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外気温変化の影響を相殺
ステージ内に相殺機能を組み込まれているので、様々な環境下で微細な調整、保持を要求されるアプリケーションにも最適です。
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真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応
ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。宇宙空間での使用実績もあります。
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回転中心ズレのない、特殊デザイン
結晶解析のアプリケーション等、アパチャに光を通して使用した際にも軸ズレを極力おこなさないデザイン。
仕様
| モデル | ストローク[mrad] | 開口[mm] | センサータイプ |
|---|---|---|---|
| ROTOR 10 | 11 | φ3 | – |
| ROTOR 10SG | 9 | φ3 | SG |
ダウンロード資料
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注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
