自動ステージ　　Piezosystem Jena　XYピエゾステージ

Piezosystem Jena社について

ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型３軸ステージから多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。

ユニークデザインで高剛性なXY2軸ピエゾステージ

一つのボディに2軸を組み込んだ小型水平2軸ピエゾステージ。スクエアなタイプだけでなく、高速スキャンが可能なL字型。中央部に大きな開口の空いたモデルも用意。

製品特徴

様々なストロークを用意

最大ストローク：400um
独自フレクシャヒンジデザイン

独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。
コンパクトデザインで組込みにさ最適

長ストロークながら、コンパクトなステージでお持ちの光学系や顕微鏡に組込みが容易。
エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御

ストレンゲージセンサー(歪タイプ)、キャパシタンスセンサー(静電容量タイプ)を選択できて、用途、予算で選択可能。
高剛性・高共振周波数モデル

高共振周波数でAFM,STM等の特殊顕微鏡や、画素ずらし等、高速なXYスキャニング用途にも最適なモデルもあります。
様々な用途に対応する大開口モデル

最大有効径は66㎜のモデルもあります。
真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応

ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。宇宙空間での使用実績もあります。

仕様

モデル	ストローク[um]	開口[mm]	センサータイプ
PXY　D12	40/-、80/65、200/160		SG
PXY16	16/12	φ66	–
PXY16　OEM	16/12	L字	CAP
PXY36	36/30	50ｘ50mm	–
PXY38	38/32	–	SG, CAP
ScanXY40	40	φ15mm	–
PXY100	100/90	–	SG, CAP
PXY102	100/80	φ40mm	SG, CAP
PXY200	200/160	φ28mm	SG
PXY201	250/200	30ｘ30mm	CAP
PXY400	400	22x22mm	–

詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

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ユニークデザインで高剛性なXY2軸ピエゾステージ

製品特徴

様々なストロークを用意

独自フレクシャヒンジデザイン

コンパクトデザインで組込みにさ最適

エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御

高剛性・高共振周波数モデル

様々な用途に対応する大開口モデル

真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応

仕様

ダウンロード資料

注意事項

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ALIO Industries

PiezoMotor

Xeryon

NANOS Instruments

mechOnics

Sitek

Vescent

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OXXIUS

Pavilion Integration Corporation

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