高速・精密ピエゾシャッター・可変スリット

Piezosystem Jena社について

ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型3軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。

ピエゾを利用した自動スリット。高速・精密に開閉可能。

ピエゾ+フレクシャーで精密に開閉を管理が可能。様々なサイズ、スリット素材等を選択可能で分光からレーザーシャッターまでユーザーアプリケーションに対応。

製品特徴

  • 様々なストロークを用意

    最大開口サイズ:1.5mm

  • 様々な材質のスリットを選択可能

    SUS・Si・タングステン等を始め様々なスリットの取付が可能。

  • 2枚のスリットを同時制御

    一つのPZTで2枚のエッジをコントロールするため、中心を規定して開閉が可能。また、フレクシャーを使用しているので、精密な平行移動が可能。

  • 選べるエッジ配置

    2枚のエッジの裏表をオーダー時に選ぶことが可能。

  • ナノメーター分解能

    低ノイズのドライバー・コントローラーを使用することにより、ナノメーターの分解能を実現可能。

  • クローズドループセンサー内蔵モデル

    ストレンゲージ(ひずみゲージ)内蔵により、高精度なクローズドループが可能。

  • 真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応

    ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。宇宙空間での使用実績もあります。

  • 2つのスリットを組み合わせ可変ピンホール

    LLNL(Lawrence Livermore National Laboratory)でも使用されているPureEdge240は極低温下で可変ピンホール(矩形)として使用されています。

仕様

モデル 最大開口 分解能 センサータイプ
PZS1 230um 0.5nm
PZS1 SG 230um/190um 0.5nm/3nm SG
PZS2 60um 0.01nm
PZS2 SG 60um/50um 0.01nm/0.8nm SG
PZS3 1500um 3nm
PZS4 300um 0.6nm
PZS4 SG 240um 0.6nm/8nm SG

詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

ダウンロード資料

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