ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター　　Piezosystem Jena　マイクロメーター用ピエゾアクチュエーター

メーカー：
Piezosystem Jena
カテゴリ：

Piezosystem Jena社について

ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型３軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。

標準品のマイクロメーターに取り付けて、微動制御が可能

一般メーカーのマイクロメーターに対して、ダイレクトに取り付けて、粗動はマイクロメーター、微動はピエゾステージで調整が可能。センサー付きのモデルもあり、長期間の位置安定性が必要なアプリケーションにも最適です。

製品特徴

  • 様々なストロークを用意

    motion up to 250µm
    ストローク:80－250

  • 一般的なマイクロメーターにつけることが可能

    Mitutoyo社、ニューポート社、Qioptiq社等のマイクロメーターにダイレクトに取り付けて、通常のマイクロメーター同様に使用することが可能です。

  • 独自フレクシャヒンジデザイン

    独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。コンパクトで高い共振周波数のステージ。

  • エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御

    ストレンゲージセンサー(歪タイプ)内蔵モデルがあります。

仕様

モデル ストローク 分解能 発生力
MICI80 80um 0.1nm 216N
MICI80SG 80um / 64um 0.1nm/2nm 216N
MICI180 180um 0.4nm 144N
MICI180SG 180um / 144um 0.4nm/4nm 144N
MICI200 250um 250um 110N
MICI200SG 250um / 200um 250nm/200nm 110N

詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

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