自動ステージ Xeryon ピエゾ超音波ステージ
Xeryon社について
各種ピエゾアクチュエーターの特性を知りつくした技術陣により製造されるモーションシステムはニーズに適した設計がなされ、高精度で長寿命なナノ、マイクロポジショニング製品になっています。もちろん、真空用途、非磁性用途などにも対応しており、用途に適したピエゾドライバーも揃っています。標準品では対応できない場合にも特注品の設計製作も可能です。
長寿命でノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いた精密ステージです。ほとんどのピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、完全に無音にします。またXeryon製の回転やリニアステージの組み合わせやインストール操作がとても簡単です。
Xeryonは、100 mmまでの移動範囲で、様々な高精度のリニアステージを提供します。特許取得済みCrossfixx™の超音波モーター技術により、最速200 mm/sの移動速度と速度安定性を提供します。すべてのステージはインストールが簡単で、直感的に使用できます。1.25 µmから1 nmの分解能まで、さまざまなレベルの精度で提供できます。また、SEMや真空チャンバー用に最適な真空・非磁性オプションがございます。すべての精密ステージ（回転およびリニア）を組み合わせて、ニーズに合った多軸ステージを構築できます。ステージは簡単に取り付け可能で、必要に応じてカスタムブラケットを作成できます。
製品特徴
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超音波ピエゾモーターによって駆動され、コンパクトで長寿命と速度を実現
Xeryonリニアステージ（XLS）は、超音波ピエゾモーターによって駆動される正確なリニアステージです。分解能１nmから1.25µmまでのエンコーダーを内蔵することにより、マイクロメートル精度での高速位置決めが可能になります。
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ノイズ、振動の極めて少ない精密Z軸超音波モーターステージ
Z軸ステージ用に質量補正スプリングを装着できます。最大ペイロード：40 g （+500 g、質量補正あり）
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豊富なアクセサリー
Xeryonのピエゾステージ（回転及びリニア）に必要なインターフェースプレート、ブラケット、Dsub15ピンケーブル、取付ねじ一式、真空フィードスルーフランジなど各種取り揃えております。
仕様
| 稼働軸 | 3軸 |
|---|---|
| ストローク | 10～120mm |
| 分解能 | 1.25µm～１nm |
| 推進力 | 1～3N |
| サイズ | 30x34x13㎜～120x49x13㎜ |
| 真空オプション | 10＾-6mbar |
ダウンロード資料
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注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
