自動ステージ Xeryon ピエゾ回転ステージ
Xeryon社について
各種ピエゾアクチュエーターの特性を知りつくした技術陣により製造されるモーションシステムはニーズに適した設計がなされ、高精度で長寿命なナノ、マイクロポジショニング製品になっています。もちろん、真空用途、非磁性用途などにも対応しており、用途に適したピエゾドライバーも揃っています。標準品では対応できない場合にも特注品の設計製作も可能です。
コンパクトで正確なピエゾ回転ステージ
Xeryon社の回転ステージは、ラジアル、アキシャル、およびチルト方向で作動誤差が非常に小さい精密ピエゾ回転ステージです。スティックスリップ駆動回転ステージ（XRT-A）と超音波駆動回転ステージ（XRT-U）のどちらかを選択できます。またこの精密回転ステージは、真空仕様や非磁性仕様もございます。
製品特徴
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超音波回転ステージ
振動が極めて少ない超音波ピエゾモーター、精密ボールベアリングを使ったコンパクトな回転ステージでエアベアリング並みの精度を達成できます。寿命は100万回転以上。
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僅か55g、正確な円運動が可能なスティックスリップ型ピエゾモーター回転ステージ
スティックスリップ型ピエゾモーターと特許取得済みのボールベアリング技術により、回転中であっても、アクティブエラーモーション補正によりナノメートルレベルで補正できます。小型軽量で高精度のピエゾ回転ステージです。
仕様
| 分解能 | 3～109μrad |
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| 回転速度 | 12 ～720度/s |
| サイズ | 40x35x21(mm)～50x46x21（㎜） |
ダウンロード資料
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注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
