ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型３軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。
Piezosystem Jena
Piezosystem Jena社について
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1軸ピエゾ高速ティルトステージ
自動ステージ Piezosystem Jena ピエゾティルトステージ(1軸)
モデル ストローク 分解能 PSH4/1 ±2mrad 0.008urad PSH15/1 ±7.5mrad 0.03urad PSH30/2 ±15mrad 0.03urad Piezosystem Jena
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小型長ストロークX軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena X軸ピエゾステージ
ストローク 分解能 センサータイプ PX38 39um 0.07nm – PX38 SG 39um / 32um 0.07nm / 0.7nm SG PX50 CAP 50um / 40um 0.1nm / 1nm CAP PX100 100um 0.2nm – PX100 SG 100um / 80um 0.2nm / 2nm SG PX200 200um 0.4nm – PX200 SG 200um / 160um 0.4nm / 4nm SG PX200 CAP 200um / 160um 0.4nm / 2nm CAP PX300 300um 0.6nm – PX300 SG 300um / 240um 0.6nm / 6nm SG PX300 CAP 300um / 240um 0.6nm / 3nm CAP PX400 400um 0.8nm – PX400 SG 400um / 320um 0.8nm / 8 nm SG PX400 CAP 400um / 320um 0.8nm / 4nm CAP Piezosystem Jena
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薄型超高剛性プッシュプルピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena プッシュプルピエゾステージ
モデル 軸数 ストローク 分解能 nanoSX 400 1 450um 0.8nm nanoSX 400 CAP 1 450um / 350um 0.8nm / 1nm nanoSX 800 1 900um 1.6nm nanoSX 800 CAP 1 900um / 800um 4nm nanoSXY 120 2 120um 0.24nm nanoSXY 120 CAP 2 120um / 100um 0.24nm / 1nm nanoSXY 400 2 400um 0.8nm nanoSXY 400 CAP 2 400um / 320um 0.8 / 1nm 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
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小型長ストロークアクチュエーター
ピエゾアクチュエーター Piezosystemjena X軸ピエゾアクチュエーター
ストローク 分解能 発生力 PX500 500um 1.2nm 35N PX1500 1500um 3nm 60N Piezosystem Jena
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小型長Z軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena Z軸ピエゾステージ
ストローク 分解能 センサータイプ PZ8 D12 8um 0.7nm – PZ8 D12 SG 8um / 6.4um 0.7nm / 8nm SG PZ20 D12 20um 0.7nm – PZ20 D12 SG 20um / 16um 0.7nm / 16nm SG PZ10 10um 0.02nm – PZ16 CAP 22um / 16um 0.04nm / 0.4nm CAP PZ38 38um 0.08nm – PZ38 SG 38um / 32um 0.08nm / 0.7nm SG PZ38 CAP 38um / 32um 0.08nm / 0.7nm CAP PZ100 100um 0.2nm – PZ100 SG 100um / 85um 0.2nm / 2nm SG PZ100 CAP 100um / 85um 0.2nm / 1nm CAP PZ200 OEM 200um 0.4nm – PZ200 SG OEM 200um / 160um 0.4nm / 4nm SG PZ400 OEM 400um 0.8nm – PZ400 SG OEM 400um / 320um 0.8nm / 8nm SG Piezosystem Jena
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小型長ストロークZ軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena Z軸ピエゾステージ
ストローク[um] 分解能[nm] センサータイプ PZ250 SG 350 / 250 0.7 SG PZ250 CAP WL 350 / 250 3 CAP PZ300 AP 370 0.6 – PZ300 CAP AP 370 / 300 0.6 / 1 CAP PZ400 400 0.8 – PZ400 SG 400 / 320 0.8 / 8 SG PZ700 SI 700 1.4 – Piezosystem Jena
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高剛性精密回転ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena 回転ステージ
モデル ストローク[mrad] 開口[mm] センサータイプ ROTOR 10 11 φ3 – ROTOR 10SG 9 φ3 SG Piezosystem Jena
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コンパクトな筐体に5軸を搭載したピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena 5軸ピエゾステージ
モデル ストローク[um] 開口[mm](φ) センサータイプ PENTOR 100 17 – PENTOR SG 100 17 SG Piezosystem Jena
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3軸ピエゾ高速ティルトステージ
自動ステージ Piezosystem Jena ピエゾティルトステージ
モデル ストローク[mrad] Z軸ストローク[um] センサータイプ PSH 1 1 – SG PSH 1z 1 8 SG PSH 2 2 – SG PSH 2z 2 16 SG PSH 3 3 – SG PSH 3z 3 26 SG PSH 4 4 – SG PSH 4z 4 33 SG PSH 8 8 – SG PSH 8z 8 – SG 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
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オリエンテーションフリーブロックタイプピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena オリエンテーションフリーピエゾステージ
ストローク 40-100um 共振周波数 <1320Hz センサーオプション ストレンゲージタイプ 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
モデル ストローク[um] 分解能[nm] 最大発生力[N] センサータイプ PU40 40 0.08 32 – PU40 SG 32 0.08 / 0.8 32 SG PU90 90 0.18 135 – PU90 SG 72 0.18 / 1.8 135 SG PU100 100 0.2 135 – PU100 SG 80 0.2 / 2 135 SG PU65 HR 65 for Scan 48 – Piezosystem Jena
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ピエゾを利用した自動スリット。高速・精密に開閉可能。
高速・精密ピエゾシャッター・可変スリット
モデル 最大開口 分解能 センサータイプ PZS1 230um 0.5nm – PZS1 SG 230um/190um 0.5nm/3nm SG PZS2 60um 0.01nm – PZS2 SG 60um/50um 0.01nm/0.8nm SG PZS3 1500um 3nm – PZS4 300um 0.6nm – PZS4 SG 240um 0.6nm/8nm SG Piezosystem Jena
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標準品のマイクロメーターに取り付けて、微動制御が可能
ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター Piezosystem Jena マイクロメーター用ピエゾアクチュエーター
モデル ストローク 分解能 発生力 MICI80 80um 0.1nm 216N MICI80SG 80um / 64um 0.1nm/2nm 216N MICI180 180um 0.4nm 144N MICI180SG 180um / 144um 0.4nm/4nm 144N MICI200 250um 250um 110N MICI200SG 250um / 200um 250nm/200nm 110N Piezosystem Jena
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小型長ストロークXYZ3軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena XYZ3軸ピエゾステージ
モデル ストロークum(オープン/クローズ) 開口 センサータイプ MicroTritor 9 – – miniTritor 38 – – Tritor38 38/30 – SG Tritor50 50/40 – – Tritor100 100/80 – SG, CAP Tritor102 100/80 φ40㎜ SG, CAP Tritor320 50X50Y400Z/40X40Y320Z 150x150mm CAP Tritor400 400/320 12.5㎜ SG, CAP 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
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ユニークデザインで高剛性なXY2軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena XYピエゾステージ
モデル ストローク[um] 開口[mm] センサータイプ PXY D12 40/-、80/65、200/160 SG PXY16 16/12 φ66 – PXY16 OEM 16/12 L字 CAP PXY36 36/30 50ｘ50mm – PXY38 38/32 – SG, CAP ScanXY40 40 φ15mm – PXY100 100/90 – SG, CAP PXY102 100/80 φ40mm SG, CAP PXY200 200/160 φ28mm SG PXY201 250/200 30ｘ30mm CAP PXY400 400 22x22mm – 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
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高剛性！対物レンズ用アクチュエーター
自動アクチュエーター Piezosystem Jena 対物レンズ用アクチュエーター/フォーカシングポジショナー
ストローク 分解能 センサータイプ MIPOS 20 20um / 16um 0.04nm/1nm(SG) SG MIPOS 100 100um / 80um 0.2nm/2nm(SG) SG MIPOS 250 250um / 200um 0.5nm/5nm(SG)/1nm(CAP) SG/CAP nano MIPOS 400 400um / 320um 0.8nm/1nm(CAP) CAP MIPOS 500 500um / 400um 0.9nm/12nm(SG) SG MIPOS 600 600um / 500um 0.9nm/12nm(SG) SG Piezosystem Jena
