PZ 自動ステージ  Piezosystem Jena Z軸ピエゾステージ

Piezosystem Jena社について

ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型3軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。

小型長Z軸ピエゾステージ

剛性を高めることで、高い荷重に対応できるZリフトステージ。並行度の高い昇降でナノポジショニングが可能。

製品特徴

  • 様々なストロークを用意

    最大ストローク:400um

  • 独自フレクシャヒンジデザイン

    独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。長ストロークながら、コンパクトで高い共振周波数のステージ。

  • エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御

    ストレンゲージセンサー(歪タイプ)、キャパシタンスセンサー(静電容量タイプ)を選択できて、用途、予算で選択可能。

  • 高剛性・高共振周波数モデル

    特殊デザインモデルで、最大共進周波数3kHzのモデルもあります。

  • クローズドループで超高分解能ステップモデル

    特殊モデルの中にはシングルステップ0.02nmのモデルもあります。

  • 真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応

    ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。宇宙空間での使用実績もあります。

仕様

ストローク 分解能 センサータイプ
PZ8 D12 8um 0.7nm
PZ8 D12 SG 8um / 6.4um 0.7nm / 8nm SG
PZ20 D12 20um 0.7nm
PZ20 D12 SG 20um / 16um 0.7nm / 16nm SG
PZ10 10um 0.02nm
PZ16 CAP 22um / 16um 0.04nm / 0.4nm CAP
PZ38 38um 0.08nm
PZ38 SG 38um / 32um 0.08nm / 0.7nm SG
PZ38 CAP 38um / 32um 0.08nm / 0.7nm CAP
PZ100 100um 0.2nm
PZ100 SG 100um / 85um 0.2nm / 2nm SG
PZ100 CAP 100um / 85um 0.2nm / 1nm CAP
PZ200 OEM 200um 0.4nm
PZ200 SG OEM 200um / 160um 0.4nm / 4nm SG
PZ400 OEM 400um 0.8nm
PZ400 SG OEM 400um / 320um 0.8nm / 8nm SG

ダウンロード資料

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注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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