nanoSX series 自動ステージ  Piezosystem Jena プッシュプルピエゾステージ

Piezosystem Jena社について

ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型3軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。

薄型超高剛性プッシュプルピエゾステージ

Piezosystemを代表する世界最高剛性の1軸ステージ。1軸の動作に対して、2本のPZTをPush/Pullに配置して駆動させるため双方向に高剛性なステージ。特殊ヒンジ構造で比類なき進直性を実現

製品特徴

  • 様々なストロークを用意

    最大ストローク:900um

  • 独自フレクシャヒンジデザイン

    独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い平行移動性を実現し、直進性の高いステージ。長ストロークながら、コンパクトで高い共振周波数のステージ。

  • エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御

    キャパシタンスセンサー(静電容量タイプ)タイプで1nm分解能を実現

  • 光軸等で使いやすい中空ステージ

    回転中心に12.5㎜のアパチャがあるのでレーザー光等を通すことができるので、顕微鏡の

  • 真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応

    ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。宇宙空間での使用実績もあります。

仕様

モデル 軸数 ストローク 分解能
nanoSX 400 1 450um 0.8nm
nanoSX 400 CAP 1 450um / 350um 0.8nm / 1nm
nanoSX 800 1 900um 1.6nm
nanoSX 800 CAP 1 900um / 800um 4nm
nanoSXY 120 2 120um 0.24nm
nanoSXY 120 CAP 2 120um / 100um 0.24nm / 1nm
nanoSXY 400 2 400um 0.8nm
nanoSXY 400 CAP 2 400um / 320um 0.8 / 1nm

詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

ダウンロード資料

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注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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