PX 自動ステージ  Piezosystem Jena X軸ピエゾステージ

Piezosystem Jena社について

ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型3軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。

小型長ストロークX軸ピエゾステージ

水平1軸のピエゾステージ。独自のヒンジ構造を利用してコンパクトながら長軸ステージ。センサー搭載モデルでナノメーターレベルの位置決めが可能。

製品特徴

  • 様々なストロークを用意

    最大ストローク:400um

  • 独自フレクシャヒンジデザイン

    独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。長ストロークながら、コンパクトで高い共振周波数のステージ。

  • エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御

    ストレンゲージセンサー(歪タイプ)、キャパシタンスセンサー(静電容量タイプ)を選択できて、用途、予算で選択可能。

  • 真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応

    ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。

仕様

ストローク 分解能 センサータイプ
PX38 39um 0.07nm
PX38 SG 39um / 32um 0.07nm / 0.7nm SG
PX50 CAP 50um / 40um 0.1nm / 1nm CAP
PX100 100um 0.2nm
PX100 SG 100um / 80um 0.2nm / 2nm SG
PX200 200um 0.4nm
PX200 SG 200um / 160um 0.4nm / 4nm SG
PX200 CAP 200um / 160um 0.4nm / 2nm CAP
PX300 300um 0.6nm
PX300 SG 300um / 240um 0.6nm / 6nm SG
PX300 CAP 300um / 240um 0.6nm / 3nm CAP
PX400 400um 0.8nm
PX400 SG 400um / 320um 0.8nm / 8 nm SG
PX400 CAP 400um / 320um 0.8nm / 4nm CAP

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注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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