真空度10-6 mbar対応！エンコーダー内蔵真空対応ピエゾモーターステージ！
自動ステージ PRECIBEO 真空対応エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ
| ストローク | 20mm(35mm,50mmについてはお問い合わせください) |
|---|---|
| 分解能 | 2nm(35mm,50mmストロークは4nm) |
| 最大速度 | 8mm/s(無負荷時) |
| 最大荷重 | <0.5kg |
| サイズ | 45×45×14mm |
PRECIBEO
真空環境下計測
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真空環境下でのオプティクスの制御をナノメートル分解能で！
アクチュエーター PRECIBEO 真空対応ピエゾアクチュエーター
ストローク 9mm 分解能 2nm 最大速度 8mm/s(無負荷時) 最大荷重 <1kg サイズ 61x28x14 mm 真空度 10〜6mbar PRECIBEO
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小型、高推力のフリクションベースピエゾモーター
ピエゾアクチュエーター Piezomotor 超小型リニアモーター(デモ機あり）
PiezoMotor
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長寿命でノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いた精密ステージです。ほとんどのピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、完全に無音にします。またXeryon製の回転やリニアステージの組み合わせやインストール操作がとても簡単です。
自動ステージ Xeryon ピエゾ超音波ステージ
稼働軸 3軸 ストローク 10～120mm 分解能 1.25µm～１nm 推進力 1～3N サイズ 30x34x13㎜～120x49x13㎜ 真空オプション 10＾-6mbar Xeryon
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コンパクトで正確なピエゾ回転ステージ
自動ステージ Xeryon ピエゾ回転ステージ
分解能 3～109μrad 回転速度 12 ～720度/s サイズ 40x35x21(mm)～50x46x21（㎜） Xeryon
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世界最小級、わずか６ｇ！クローズドループ制御可能の高速アクチュエーター
ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター Xeryon 超音波ピエゾアクチュエータ
ストローク 5-185mm 保持力 １N/３N アクチュエーター材質 陽極酸化アルミニウム（ハウジング）、ステンレススチール（ロッド、ハウジングカバー） 寸法 22.7 x 14.8 x 5.4 mm（アクチュエーター部分） Xeryon
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1軸ピエゾ高速ティルトステージ
自動ステージ Piezosystem Jena ピエゾティルトステージ(1軸)
モデル ストローク 分解能 PSH4/1 ±2mrad 0.008urad PSH15/1 ±7.5mrad 0.03urad PSH30/2 ±15mrad 0.03urad Piezosystem Jena
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薄型超高剛性プッシュプルピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena プッシュプルピエゾステージ
モデル 軸数 ストローク 分解能 nanoSX 400 1 450um 0.8nm nanoSX 400 CAP 1 450um / 350um 0.8nm / 1nm nanoSX 800 1 900um 1.6nm nanoSX 800 CAP 1 900um / 800um 4nm nanoSXY 120 2 120um 0.24nm nanoSXY 120 CAP 2 120um / 100um 0.24nm / 1nm nanoSXY 400 2 400um 0.8nm nanoSXY 400 CAP 2 400um / 320um 0.8 / 1nm 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
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高剛性精密回転ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena 回転ステージ
モデル ストローク[mrad] 開口[mm] センサータイプ ROTOR 10 11 φ3 – ROTOR 10SG 9 φ3 SG Piezosystem Jena
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標準品のマイクロメーターに取り付けて、微動制御が可能
ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター Piezosystem Jena マイクロメーター用ピエゾアクチュエーター
モデル ストローク 分解能 発生力 MICI80 80um 0.1nm 216N MICI80SG 80um / 64um 0.1nm/2nm 216N MICI180 180um 0.4nm 144N MICI180SG 180um / 144um 0.4nm/4nm 144N MICI200 250um 250um 110N MICI200SG 250um / 200um 250nm/200nm 110N Piezosystem Jena
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小型長ストロークアクチュエーター
ピエゾアクチュエーター Piezosystemjena X軸ピエゾアクチュエーター
ストローク 分解能 発生力 PX500 500um 1.2nm 35N PX1500 1500um 3nm 60N Piezosystem Jena
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高剛性！対物レンズ用アクチュエーター
自動アクチュエーター Piezosystem Jena 対物レンズ用アクチュエーター/フォーカシングポジショナー
ストローク 分解能 センサータイプ MIPOS 20 20um / 16um 0.04nm/1nm(SG) SG MIPOS 100 100um / 80um 0.2nm/2nm(SG) SG MIPOS 250 250um / 200um 0.5nm/5nm(SG)/1nm(CAP) SG/CAP nano MIPOS 400 400um / 320um 0.8nm/1nm(CAP) CAP MIPOS 500 500um / 400um 0.9nm/12nm(SG) SG MIPOS 600 600um / 500um 0.9nm/12nm(SG) SG Piezosystem Jena
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コンパクトな筐体に5軸を搭載したピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena 5軸ピエゾステージ
モデル ストローク[um] 開口[mm](φ) センサータイプ PENTOR 100 17 – PENTOR SG 100 17 SG Piezosystem Jena
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小型長ストロークXYZ3軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena XYZ3軸ピエゾステージ
モデル ストロークum(オープン/クローズ) 開口 センサータイプ MicroTritor 9 – – miniTritor 38 – – Tritor38 38/30 – SG Tritor50 50/40 – – Tritor100 100/80 – SG, CAP Tritor102 100/80 φ40㎜ SG, CAP Tritor320 50X50Y400Z/40X40Y320Z 150x150mm CAP Tritor400 400/320 12.5㎜ SG, CAP 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
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ユニークデザインで高剛性なXY2軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena XYピエゾステージ
モデル ストローク[um] 開口[mm] センサータイプ PXY D12 40/-、80/65、200/160 SG PXY16 16/12 φ66 – PXY16 OEM 16/12 L字 CAP PXY36 36/30 50ｘ50mm – PXY38 38/32 – SG, CAP ScanXY40 40 φ15mm – PXY100 100/90 – SG, CAP PXY102 100/80 φ40mm SG, CAP PXY200 200/160 φ28mm SG PXY201 250/200 30ｘ30mm CAP PXY400 400 22x22mm – 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
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小型長ストロークX軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena X軸ピエゾステージ
ストローク 分解能 センサータイプ PX38 39um 0.07nm – PX38 SG 39um / 32um 0.07nm / 0.7nm SG PX50 CAP 50um / 40um 0.1nm / 1nm CAP PX100 100um 0.2nm – PX100 SG 100um / 80um 0.2nm / 2nm SG PX200 200um 0.4nm – PX200 SG 200um / 160um 0.4nm / 4nm SG PX200 CAP 200um / 160um 0.4nm / 2nm CAP PX300 300um 0.6nm – PX300 SG 300um / 240um 0.6nm / 6nm SG PX300 CAP 300um / 240um 0.6nm / 3nm CAP PX400 400um 0.8nm – PX400 SG 400um / 320um 0.8nm / 8 nm SG PX400 CAP 400um / 320um 0.8nm / 4nm CAP Piezosystem Jena
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小型長ストロークZ軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena Z軸ピエゾステージ
ストローク[um] 分解能[nm] センサータイプ PZ250 SG 350 / 250 0.7 SG PZ250 CAP WL 350 / 250 3 CAP PZ300 AP 370 0.6 – PZ300 CAP AP 370 / 300 0.6 / 1 CAP PZ400 400 0.8 – PZ400 SG 400 / 320 0.8 / 8 SG PZ700 SI 700 1.4 – Piezosystem Jena
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小型長Z軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena Z軸ピエゾステージ
ストローク 分解能 センサータイプ PZ8 D12 8um 0.7nm – PZ8 D12 SG 8um / 6.4um 0.7nm / 8nm SG PZ20 D12 20um 0.7nm – PZ20 D12 SG 20um / 16um 0.7nm / 16nm SG PZ10 10um 0.02nm – PZ16 CAP 22um / 16um 0.04nm / 0.4nm CAP PZ38 38um 0.08nm – PZ38 SG 38um / 32um 0.08nm / 0.7nm SG PZ38 CAP 38um / 32um 0.08nm / 0.7nm CAP PZ100 100um 0.2nm – PZ100 SG 100um / 85um 0.2nm / 2nm SG PZ100 CAP 100um / 85um 0.2nm / 1nm CAP PZ200 OEM 200um 0.4nm – PZ200 SG OEM 200um / 160um 0.4nm / 4nm SG PZ400 OEM 400um 0.8nm – PZ400 SG OEM 400um / 320um 0.8nm / 8nm SG Piezosystem Jena
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オリエンテーションフリーブロックタイプピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena オリエンテーションフリーピエゾステージ
ストローク 40-100um 共振周波数 <1320Hz センサーオプション ストレンゲージタイプ 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
モデル ストローク[um] 分解能[nm] 最大発生力[N] センサータイプ PU40 40 0.08 32 – PU40 SG 32 0.08 / 0.8 32 SG PU90 90 0.18 135 – PU90 SG 72 0.18 / 1.8 135 SG PU100 100 0.2 135 – PU100 SG 80 0.2 / 2 135 SG PU65 HR 65 for Scan 48 – Piezosystem Jena
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3軸ピエゾ高速ティルトステージ
自動ステージ Piezosystem Jena ピエゾティルトステージ
モデル ストローク[mrad] Z軸ストローク[um] センサータイプ PSH 1 1 – SG PSH 1z 1 8 SG PSH 2 2 – SG PSH 2z 2 16 SG PSH 3 3 – SG PSH 3z 3 26 SG PSH 4 4 – SG PSH 4z 4 33 SG PSH 8 8 – SG PSH 8z 8 – SG 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
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業界最小クラスの極小ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:15mm×15mm～)（デモ機あり）
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 3～10mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.4Nm ブロッキングフォース 3N ベアリングフォース 20N 質量 6g mechOnics
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ナノポジショニング小型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:30mm×30mm～)（デモ機あり）
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 8～30mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.5Nm ブロッキングフォース 4.5N ベアリングフォース 30N 質量 32～54g mechOnics
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ナノポジショニング小型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:30mm×30ｍｍ～40mm×40mm)
稼働軸 1軸～2軸 ストローク 8～11mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.5Nm ブロッキングフォース 4.5N ベアリングフォース 30N 質量 32～50g mechOnics
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ナノポジショニングクローズドループ対応ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ: 70mm×70mm)
稼働軸 1軸～2軸 ストローク 15mm 分解能 1μm～20nm 最大速度 1.5mm/s 積載量 0.5Nm ブロッキングフォース 10N 質量 120g mechOnics
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2軸ミラーチルトピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ミラーティルトピエゾステージ
稼働軸 2軸 調節可能角度 0.3～28μrad 分解能 10～900nm 最大速度 25mrad/s 積載量 100g 質量 46g mechOnics
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ナノポジショニング穴あき小型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics 穴あきピエゾステージ (サイズ:30mm×30mm)
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 8mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.5mm/s 積載量 0.4Nm ブロッキングフォース 4.5N ベアリングフォース 20N 質量 32g mechOnics
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極低温対応可能ナノポジショニング小型ピエゾステージを標準品でご用意。
自動ステージ mechOnics 極低温対応ピエゾステージ (サイズ:17mm×65mm)
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 5mm 分解能 200～1000nm 最大速度 1mm/s 積載量 3Ncm ブロッキングフォース 1N ベアリングフォース 1N 質量 25g mechOnics
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コンパクトサイズの3軸一体型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ３軸一体型小型ピエゾステージ
稼働軸 3軸 ストローク 2～10mm(XYZ) 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.15Nm ブロッキングフォース 2N 質量 46～76g mechOnics
