真空、極低温関連

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  ピエゾモーターステージ

  自動ステージ　NANOS Instruments　ピエゾモーターステージ

  NANOS Instruments

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  長寿命でノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いた精密ステージです。ほとんどのピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、完全に無音にします。またXeryon製の回転やリニアステージの組み合わせやインストール操作がとても簡単です。

  自動ステージ　Xeryon　ピエゾ超音波ステージ

  稼働軸	3軸
  ストローク	10～120mm
  分解能	1.25µm～１nm
  推進力	1～3N
  サイズ	30x34x13㎜～120x49x13㎜
  真空オプション	10＾-6mbar

  Xeryon

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  コンパクトで正確なピエゾ回転ステージ

  自動ステージ　　Xeryon　ピエゾ回転ステージ

  分解能	3～109μrad
  回転速度	12 ～720度/s
  サイズ	40x35x21(mm)～50x46x21（㎜）

  Xeryon

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  世界最小級、わずか６ｇ！クローズドループ制御可能の高速アクチュエーター

  ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター　　Xeryon　超音波ピエゾアクチュエータ

  ストローク	5-185mm
  保持力	１N/３N
  アクチュエーター材質	陽極酸化アルミニウム（ハウジング）、ステンレススチール（ロッド、ハウジングカバー）
  寸法	22.7 x 14.8 x 5.4 mm（アクチュエーター部分）

  Xeryon

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  小型長ストロークアクチュエーター

  ピエゾアクチュエーター　　Piezosystemjena　X軸ピエゾアクチュエーター

  	ストローク	分解能	発生力
  PX500	500um	1.2nm	35N
  PX1500	1500um	3nm	60N

  Piezosystem Jena

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  高剛性！対物レンズ用アクチュエーター

  自動アクチュエーター　　Piezosystem Jena　対物レンズ用アクチュエーター/フォーカシングポジショナー

  	ストローク	分解能	センサータイプ
  MIPOS 20	20um / 16um	0.04nm/1nm(SG)	SG
  MIPOS 100	100um / 80um	0.2nm/2nm(SG)	SG
  MIPOS 250	250um / 200um	0.5nm/5nm(SG)/1nm(CAP)	SG/CAP
  nano MIPOS 400	400um / 320um	0.8nm/1nm(CAP)	CAP
  MIPOS 500	500um / 400um	0.9nm/12nm(SG)	SG
  MIPOS 600	600um / 500um	0.9nm/12nm(SG)	SG

  Piezosystem Jena

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  コンパクトな筐体に5軸を搭載したピエゾステージ

  自動ステージ　　Piezosystem Jena　5軸ピエゾステージ

  モデル	ストローク[um]	開口[mm](φ)	センサータイプ
  PENTOR	100	17	–
  PENTOR SG	100	17	SG

  Piezosystem Jena

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  小型長ストロークXYZ3軸ピエゾステージ

  自動ステージ　　Piezosystem Jena　XYZ3軸ピエゾステージ

  モデル	ストロークum(オープン/クローズ)	開口	センサータイプ
  MicroTritor	9	–	–
  miniTritor	38	–	–
  Tritor38	38/30	–	SG
  Tritor50	50/40	–	–
  Tritor100	100/80	–	SG, CAP
  Tritor102	100/80	φ40㎜	SG, CAP
  Tritor320	50X50Y400Z/40X40Y320Z	150x150mm	CAP
  Tritor400	400/320	12.5㎜	SG, CAP

  詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

  Piezosystem Jena

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  ユニークデザインで高剛性なXY2軸ピエゾステージ

  自動ステージ　　Piezosystem Jena　XYピエゾステージ

  モデル	ストローク[um]	開口[mm]	センサータイプ
  PXY　D12	40/-、80/65、200/160		SG
  PXY16	16/12	φ66	–
  PXY16　OEM	16/12	L字	CAP
  PXY36	36/30	50ｘ50mm	–
  PXY38	38/32	–	SG, CAP
  ScanXY40	40	φ15mm	–
  PXY100	100/90	–	SG, CAP
  PXY102	100/80	φ40mm	SG, CAP
  PXY200	200/160	φ28mm	SG
  PXY201	250/200	30ｘ30mm	CAP
  PXY400	400	22x22mm	–

  詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

  Piezosystem Jena

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  小型長ストロークX軸ピエゾステージ

  自動ステージ　　Piezosystem Jena　X軸ピエゾステージ

  	ストローク	分解能	センサータイプ
  PX38	39um	0.07nm	–
  PX38 SG	39um / 32um	0.07nm / 0.7nm	SG
  PX50 CAP	50um / 40um	0.1nm / 1nm	CAP
  PX100	100um	0.2nm	–
  PX100 SG	100um / 80um	0.2nm / 2nm	SG
  PX200	200um	0.4nm	–
  PX200 SG	200um / 160um	0.4nm / 4nm	SG
  PX200 CAP	200um / 160um	0.4nm / 2nm	CAP
  PX300	300um	0.6nm	–
  PX300 SG	300um / 240um	0.6nm / 6nm	SG
  PX300 CAP	300um / 240um	0.6nm / 3nm	CAP
  PX400	400um	0.8nm	–
  PX400 SG	400um / 320um	0.8nm / 8 nm	SG
  PX400 CAP	400um / 320um	0.8nm / 4nm	CAP

  Piezosystem Jena

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  小型長ストロークZ軸ピエゾステージ

  自動ステージ　　Piezosystem Jena　Z軸ピエゾステージ

  	ストローク[um]	分解能[nm]	センサータイプ
  PZ250 SG	350 / 250	0.7	SG
  PZ250 CAP WL	350 / 250	3	CAP
  PZ300 AP	370	0.6	–
  PZ300 CAP AP	370 / 300	0.6 / 1	CAP
  PZ400	400	0.8	–
  PZ400 SG	400 / 320	0.8 / 8	SG
  PZ700 SI	700	1.4	–

  Piezosystem Jena

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  小型長Z軸ピエゾステージ

  自動ステージ　　Piezosystem Jena　Z軸ピエゾステージ

  	ストローク	分解能	センサータイプ
  PZ8 D12	8um	0.7nm	–
  PZ8 D12 SG	8um / 6.4um	0.7nm / 8nm	SG
  PZ20 D12	20um	0.7nm	–
  PZ20 D12 SG	20um / 16um	0.7nm / 16nm	SG
  PZ10	10um	0.02nm	–
  PZ16 CAP	22um / 16um	0.04nm / 0.4nm	CAP
  PZ38	38um	0.08nm	–
  PZ38 SG	38um / 32um	0.08nm / 0.7nm	SG
  PZ38 CAP	38um / 32um	0.08nm / 0.7nm	CAP
  PZ100	100um	0.2nm	–
  PZ100 SG	100um / 85um	0.2nm / 2nm	SG
  PZ100 CAP	100um / 85um	0.2nm / 1nm	CAP
  PZ200 OEM	200um	0.4nm	–
  PZ200 SG OEM	200um / 160um	0.4nm / 4nm	SG
  PZ400 OEM	400um	0.8nm	–
  PZ400 SG OEM	400um / 320um	0.8nm / 8nm	SG

  Piezosystem Jena

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  オリエンテーションフリーブロックタイプピエゾステージ

  自動ステージ　　Piezosystem Jena　オリエンテーションフリーピエゾステージ

  ストローク	40-100um
  共振周波数	<1320Hz
  センサーオプション	ストレンゲージタイプ

  詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

  モデル	ストローク[um]	分解能[nm]	最大発生力[N]	センサータイプ
  PU40	40	0.08	32	–
  PU40　SG	32	0.08 / 0.8	32	SG
  PU90	90	0.18	135	–
  PU90　SG	72	0.18 / 1.8	135	SG
  PU100	100	0.2	135	–
  PU100 SG	80	0.2 / 2	135	SG
  PU65 HR	65	for Scan	48	–

  Piezosystem Jena

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  3軸ピエゾ高速ティルトステージ

  自動ステージ　　Piezosystem Jena　ピエゾティルトステージ

  モデル	ストローク[mrad]	Z軸ストローク[um]	センサータイプ
  PSH 1	1	–	SG
  PSH 1z	1	8	SG
  PSH 2	2	–	SG
  PSH 2z	2	16	SG
  PSH 3	3	–	SG
  PSH 3z	3	26	SG
  PSH 4	4	–	SG
  PSH 4z	4	33	SG
  PSH 8	8	–	SG
  PSH 8z	8	–	SG

  詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

  Piezosystem Jena

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  1軸ピエゾ高速ティルトステージ

  自動ステージ　　Piezosystem Jena　ピエゾティルトステージ(1軸)

  モデル	ストローク	分解能
  PSH4/1	±2mrad	0.008urad
  PSH15/1	±7.5mrad	0.03urad
  PSH30/2	±15mrad	0.03urad

  Piezosystem Jena

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  薄型超高剛性プッシュプルピエゾステージ

  自動ステージ　　Piezosystem Jena　プッシュプルピエゾステージ

  モデル	軸数	ストローク	分解能
  nanoSX 400	1	450um	0.8nm
  nanoSX 400 CAP	1	450um / 350um	0.8nm / 1nm
  nanoSX 800	1	900um	1.6nm
  nanoSX 800 CAP	1	900um / 800um	4nm
  nanoSXY 120	2	120um	0.24nm
  nanoSXY 120 CAP	2	120um / 100um	0.24nm / 1nm
  nanoSXY 400	2	400um	0.8nm
  nanoSXY 400 CAP	2	400um / 320um	0.8 / 1nm

  詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

  Piezosystem Jena

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  高剛性精密回転ピエゾステージ

  自動ステージ　　Piezosystem Jena　回転ステージ

  モデル	ストローク[mrad]	開口[mm]	センサータイプ
  ROTOR 10	11	φ3	–
  ROTOR 10SG	9	φ3	SG

  Piezosystem Jena

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  標準品のマイクロメーターに取り付けて、微動制御が可能

  ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター　　Piezosystem Jena　マイクロメーター用ピエゾアクチュエーター

  モデル	ストローク	分解能	発生力
  MICI80	80um	0.1nm	216N
  MICI80SG	80um / 64um	0.1nm/2nm	216N
  MICI180	180um	0.4nm	144N
  MICI180SG	180um / 144um	0.4nm/4nm	144N
  MICI200	250um	250um	110N
  MICI200SG	250um / 200um	250nm/200nm	110N

  Piezosystem Jena

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  業界最小クラスの極小ピエゾステージ

  自動ステージ　　mechOnics　ピエゾステージ (サイズ:15mm×15mm～)（デモ機あり）

  稼働軸	1軸～3軸
  ストローク	3～10mm
  分解能	10～900nm
  最大速度	1.2mm/s
  積載量	0.4Nm
  ブロッキングフォース	3N
  ベアリングフォース	20N
  質量	6g

  mechOnics

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  ナノポジショニング小型ピエゾステージ

  自動ステージ　　mechOnics　ピエゾステージ (サイズ:30mm×30mm～)（デモ機あり）

  稼働軸	1軸～3軸
  ストローク	8～30mm
  分解能	10～900nm
  最大速度	1.2mm/s
  積載量	0.5Nm
  ブロッキングフォース	4.5N
  ベアリングフォース	30N
  質量	32～54g

  mechOnics

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  ナノポジショニング小型ピエゾステージ

  自動ステージ　　mechOnics　ピエゾステージ (サイズ:30mm×30ｍｍ～40mm×40mm)

  稼働軸	1軸～2軸
  ストローク	8～11mm
  分解能	10～900nm
  最大速度	1.2mm/s
  積載量	0.5Nm
  ブロッキングフォース	4.5N
  ベアリングフォース	30N
  質量	32～50g

  mechOnics

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  ナノポジショニングクローズドループ対応ピエゾステージ

  自動ステージ　　mechOnics　ピエゾステージ (サイズ: 70mm×70mm)

  稼働軸	1軸～2軸
  ストローク	15mm
  分解能	1μm～20nm
  最大速度	1.5mm/s
  積載量	0.5Nm
  ブロッキングフォース	10N
  質量	120g

  mechOnics

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  2軸ミラーチルトピエゾステージ

  自動ステージ　　mechOnics　ミラーティルトピエゾステージ

  稼働軸	2軸
  調節可能角度	0.3～28μrad
  分解能	10～900nm
  最大速度	25mrad/s
  積載量	100g
  質量	46g

  mechOnics

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  極低温対応可能ナノポジショニング小型ピエゾステージを標準品でご用意。

  自動ステージ　　mechOnics　極低温対応ピエゾステージ (サイズ:17mm×65mm)

  稼働軸	1軸～3軸
  ストローク	5mm
  分解能	200～1000nm
  最大速度	1mm/s
  積載量	3Ncm
  ブロッキングフォース	1N
  ベアリングフォース	1N
  質量	25g

  mechOnics

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  ナノポジショニング穴あき小型ピエゾステージ

  自動ステージ　　mechOnics　穴あきピエゾステージ (サイズ:30mm×30mm)

  稼働軸	1軸～3軸
  ストローク	8mm
  分解能	10～900nm
  最大速度	1.5mm/s
  積載量	0.4Nm
  ブロッキングフォース	4.5N
  ベアリングフォース	20N
  質量	32g

  mechOnics

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  コンパクトサイズの3軸一体型ピエゾステージ

  自動ステージ　　mechOnics　３軸一体型小型ピエゾステージ

  稼働軸	3軸
  ストローク	2～10mm(XYZ)
  分解能	10～900nm
  最大速度	1.2mm/s
  積載量	0.15Nm
  ブロッキングフォース	2N
  質量	46～76g

  mechOnics

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  小型、高推力のフリクションベースピエゾモーター

  ピエゾアクチュエーター　　Piezomotor　超小型リニアモーター(デモ機あり）

  PiezoMotor