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小型長ストロークXYZ3軸ピエゾステージ
| モデル | ストロークum(オープン/クローズ) | 開口 | センサータイプ |
|---|---|---|---|
| MicroTritor | 9 | – | – |
| miniTritor | 38 | – | – |
| Tritor38 | 38/30 | – | SG |
| Tritor50 | 50/40 | – | – |
| Tritor100 | 100/80 | – | SG, CAP |
| Tritor102 | 100/80 | φ40㎜ | SG, CAP |
| Tritor320 | 50X50Y400Z/40X40Y320Z | 150x150mm | CAP |
| Tritor400 | 400/320 | 12.5㎜ | SG, CAP |
詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
オリエンテーションフリーブロックタイプピエゾステージ
| ストローク | 40-100um |
|---|---|
| 共振周波数 | <1320Hz |
| センサーオプション | ストレンゲージタイプ |
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| モデル | ストローク[um] | 分解能[nm] | 最大発生力[N] | センサータイプ |
|---|---|---|---|---|
| PU40 | 40 | 0.08 | 32 | – |
| PU40 SG | 32 | 0.08 / 0.8 | 32 | SG |
| PU90 | 90 | 0.18 | 135 | – |
| PU90 SG | 72 | 0.18 / 1.8 | 135 | SG |
| PU100 | 100 | 0.2 | 135 | – |
| PU100 SG | 80 | 0.2 / 2 | 135 | SG |
| PU65 HR | 65 | for Scan | 48 | – |
Piezosystem Jena
コンパクトな筐体に5軸を搭載したピエゾステージ
| モデル | ストローク[um] | 開口[mm](φ) | センサータイプ |
|---|---|---|---|
| PENTOR | 100 | 17 | – |
| PENTOR SG | 100 | 17 | SG |
Piezosystem Jena
高剛性精密回転ピエゾステージ
| モデル | ストローク[mrad] | 開口[mm] | センサータイプ |
|---|---|---|---|
| ROTOR 10 | 11 | φ3 | – |
| ROTOR 10SG | 9 | φ3 | SG |
Piezosystem Jena
小型長ストロークZ軸ピエゾステージ
| ストローク[um] | 分解能[nm] | センサータイプ | |
|---|---|---|---|
| PZ250 SG | 350 / 250 | 0.7 | SG |
| PZ250 CAP WL | 350 / 250 | 3 | CAP |
| PZ300 AP | 370 | 0.6 | – |
| PZ300 CAP AP | 370 / 300 | 0.6 / 1 | CAP |
| PZ400 | 400 | 0.8 | – |
| PZ400 SG | 400 / 320 | 0.8 / 8 | SG |
| PZ700 SI | 700 | 1.4 | – |
Piezosystem Jena
小型長Z軸ピエゾステージ
| ストローク | 分解能 | センサータイプ | |
|---|---|---|---|
| PZ8 D12 | 8um | 0.7nm | – |
| PZ8 D12 SG | 8um / 6.4um | 0.7nm / 8nm | SG |
| PZ20 D12 | 20um | 0.7nm | – |
| PZ20 D12 SG | 20um / 16um | 0.7nm / 16nm | SG |
| PZ10 | 10um | 0.02nm | – |
| PZ16 CAP | 22um / 16um | 0.04nm / 0.4nm | CAP |
| PZ38 | 38um | 0.08nm | – |
| PZ38 SG | 38um / 32um | 0.08nm / 0.7nm | SG |
| PZ38 CAP | 38um / 32um | 0.08nm / 0.7nm | CAP |
| PZ100 | 100um | 0.2nm | – |
| PZ100 SG | 100um / 85um | 0.2nm / 2nm | SG |
| PZ100 CAP | 100um / 85um | 0.2nm / 1nm | CAP |
| PZ200 OEM | 200um | 0.4nm | – |
| PZ200 SG OEM | 200um / 160um | 0.4nm / 4nm | SG |
| PZ400 OEM | 400um | 0.8nm | – |
| PZ400 SG OEM | 400um / 320um | 0.8nm / 8nm | SG |
Piezosystem Jena
薄型超高剛性プッシュプルピエゾステージ
| モデル | 軸数 | ストローク | 分解能 |
|---|---|---|---|
| nanoSX 400 | 1 | 450um | 0.8nm |
| nanoSX 400 CAP | 1 | 450um / 350um | 0.8nm / 1nm |
| nanoSX 800 | 1 | 900um | 1.6nm |
| nanoSX 800 CAP | 1 | 900um / 800um | 4nm |
| nanoSXY 120 | 2 | 120um | 0.24nm |
| nanoSXY 120 CAP | 2 | 120um / 100um | 0.24nm / 1nm |
| nanoSXY 400 | 2 | 400um | 0.8nm |
| nanoSXY 400 CAP | 2 | 400um / 320um | 0.8 / 1nm |
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Piezosystem Jena
小型長ストロークX軸ピエゾステージ
| ストローク | 分解能 | センサータイプ | |
|---|---|---|---|
| PX38 | 39um | 0.07nm | – |
| PX38 SG | 39um / 32um | 0.07nm / 0.7nm | SG |
| PX50 CAP | 50um / 40um | 0.1nm / 1nm | CAP |
| PX100 | 100um | 0.2nm | – |
| PX100 SG | 100um / 80um | 0.2nm / 2nm | SG |
| PX200 | 200um | 0.4nm | – |
| PX200 SG | 200um / 160um | 0.4nm / 4nm | SG |
| PX200 CAP | 200um / 160um | 0.4nm / 2nm | CAP |
| PX300 | 300um | 0.6nm | – |
| PX300 SG | 300um / 240um | 0.6nm / 6nm | SG |
| PX300 CAP | 300um / 240um | 0.6nm / 3nm | CAP |
| PX400 | 400um | 0.8nm | – |
| PX400 SG | 400um / 320um | 0.8nm / 8 nm | SG |
| PX400 CAP | 400um / 320um | 0.8nm / 4nm | CAP |
Piezosystem Jena
ナノポジショニングクローズドループ対応ピエゾステージ
| 稼働軸 | 1軸～2軸 |
|---|---|
| ストローク | 15mm |
| 分解能 | 1μm～20nm |
| 最大速度 | 1.5mm/s |
| 積載量 | 0.5Nm |
| ブロッキングフォース | 10N |
| 質量 | 120g |
mechOnics
1軸ピエゾ高速ティルトステージ
| モデル | ストローク | 分解能 |
|---|---|---|
| PSH4/1 | ±2mrad | 0.008urad |
| PSH15/1 | ±7.5mrad | 0.03urad |
| PSH30/2 | ±15mrad | 0.03urad |
Piezosystem Jena
コンパクトサイズの3軸一体型ピエゾステージ
| 稼働軸 | 3軸 |
|---|---|
| ストローク | 2～10mm(XYZ) |
| 分解能 | 10～900nm |
| 最大速度 | 1.2mm/s |
| 積載量 | 0.15Nm |
| ブロッキングフォース | 2N |
| 質量 | 46～76g |
mechOnics
ナノポジショニング小型ピエゾステージ
| 稼働軸 | 1軸～2軸 |
|---|---|
| ストローク | 8～11mm |
| 分解能 | 10～900nm |
| 最大速度 | 1.2mm/s |
| 積載量 | 0.5Nm |
| ブロッキングフォース | 4.5N |
| ベアリングフォース | 30N |
| 質量 | 32～50g |
mechOnics
2軸ミラーチルトピエゾステージ
| 稼働軸 | 2軸 |
|---|---|
| 調節可能角度 | 0.3～28μrad |
| 分解能 | 10～900nm |
| 最大速度 | 25mrad/s |
| 積載量 | 100g |
| 質量 | 46g |
mechOnics
極低温対応可能ナノポジショニング小型ピエゾステージを標準品でご用意。
| 稼働軸 | 1軸～3軸 |
|---|---|
| ストローク | 5mm |
| 分解能 | 200～1000nm |
| 最大速度 | 1mm/s |
| 積載量 | 3Ncm |
| ブロッキングフォース | 1N |
| ベアリングフォース | 1N |
| 質量 | 25g |
mechOnics
ナノポジショニング小型ピエゾステージ
| 稼働軸 | 1軸～3軸 |
|---|---|
| ストローク | 8～30mm |
| 分解能 | 10～900nm |
| 最大速度 | 1.2mm/s |
| 積載量 | 0.5Nm |
| ブロッキングフォース | 4.5N |
| ベアリングフォース | 30N |
| 質量 | 32～54g |
mechOnics
ナノポジショニング穴あき小型ピエゾステージ
| 稼働軸 | 1軸～3軸 |
|---|---|
| ストローク | 8mm |
| 分解能 | 10～900nm |
| 最大速度 | 1.5mm/s |
| 積載量 | 0.4Nm |
| ブロッキングフォース | 4.5N |
| ベアリングフォース | 20N |
| 質量 | 32g |
mechOnics
業界最小クラスの極小ピエゾステージ
| 稼働軸 | 1軸～3軸 |
|---|---|
| ストローク | 3～10mm |
| 分解能 | 10～900nm |
| 最大速度 | 1.2mm/s |
| 積載量 | 0.4Nm |
| ブロッキングフォース | 3N |
| ベアリングフォース | 20N |
| 質量 | 6g |
mechOnics
長ストローク高精度ステージ
| ストローク | 100-2000㎜ |
|---|---|
| 繰り返し精度 | ±30nm |
| 分解能 | <5nm |
| 加速度 | 最大4G |
ALIO Industries
小型高剛性3軸ステージ
| Xストローク | 30㎜ | 60㎜ |
|---|---|---|
| Yストローク | 30㎜ | 60㎜ |
| Zストローク | 30㎜ | 30㎜ |
| 繰り返し精度 | ±30nm | ±30nm |
| 最大負荷 | お問い合わせください。 | |
| 走り精度 | お問い合わせください。 | |
ALIO Industries
エアベアリング搭載Z軸ステージ
| ストローク | お問い合わせください。 |
|---|---|
| 繰り返し精度 | お問い合わせください。 |
| 走り精度 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
