NDS 自動ステージ  mechOnics ピエゾステージ (サイズ: 70mm×70mm)

mechOnics社について

わずか15mm角、厚さ7mm、ストローク3mm、重さ6gの超小型ピエゾステージから、50mm ストロークまでの多種類X、XY、XYZステージを揃えています。通常環境以外に、超真空 (10-10mbar)、極低温(4K)などに適応する機種があり、使い勝手の良いドライバーも用途に合わせ各種用意されています。メコニクスの新製品マルチアクチュエーターを組み込んだ10mmストロークステージはNOVAコントローラーを使用することで16Nというブロッキングフォースが得られます。

ナノポジショニングクローズドループ対応ピエゾステージ

専用のNOVAコントローラーにより、研究用途から産業用途まで更に幅広いナノポジショニングアプリケーションに新たな可能性が広がります。
XY2軸までの対応可能で、高真空対応モデルもあります。クローズループのみの対応となります。

製品特徴

  • 真空対応モデルも対応可能

    10^(-9mbar) までの真空対応モデルをご用意しております。真空STM、AFM、SEMでのサンプルの位置決め等にもご利用可能です。
    ※画像はイメージとなります。

  • 専用のNOVAコントローラーによる精密制御

    専用のNOVAコントローラーにより、50nm以上の分解能での制御可能で、産業用CAN-Busに基づいたシステムにより、異なる言語で、最大256の駆動方式の異なるデバイスの同時制御を可能とします。

仕様

稼働軸 1軸~2軸
ストローク 15mm
分解能 1μm~20nm
最大速度 1.5mm/s
積載量 0.5Nm
ブロッキングフォース 10N
質量 120g

ダウンロード資料

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注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

応用例

mechOnics社のNOVA-Systemによって多軸制御を可能とします。

産業用CAN-Busに基づいたシステムにより、1台のPCで、最大256の駆動方式の異なるデバイスの同時制御を可能にします。これによって多くの精密な位置決めステージを必要とするアプリケーションの更なる可能性を広げます。

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