自動ステージ ALIO Industries XYZステージ
ALIO Industries社について
各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。 レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。
小型高剛性3軸ステージ
コンパクトサイズにアッセブリーをされたXYZステージ。全ての軸にクロスローラー/光学エンコーダーを搭載している為、高精度を実現。XYステージはモノリシック構造で高精度かつ、高剛性を実現。精度、安定性、分解能を問われるマイクロアセンブリに用途にも最適なコンパクトな高性能XYZステージです。
製品特徴
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ユーザーフレンドリーな小型3軸ステージ
ALIOのTrue nanoをそのままにコンパクトに収められた3軸ステージ。サブミクロンクラスのアッセンブリーや加工の基礎的なテストに最適です。
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高性能モーター/光学エンコーダー採用
欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。
MTBF > 100,000h。
仕様
| Xストローク | 30㎜ | 60㎜ |
|---|---|---|
| Yストローク | 30㎜ | 60㎜ |
| Zストローク | 30㎜ | 30㎜ |
| 繰り返し精度 | ±30nm | ±30nm |
| 最大負荷 | お問い合わせください。 | |
| 走り精度 | お問い合わせください。 | |
注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
