各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。 レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。
ALIO Industries
ALIO Industries社について
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Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
自動ステージ ALIO Industries ヘキサポッド ステージ
XYストローク 60-400mm Zストローク <206mm チルト <±30° 繰り返し精度 ±80nm (6D Point repeatability準拠）
カスタムにてより高精度対応可能ALIO Industries
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ハイエンド汎用ガントリー
自動ステージ ALIO Industries ガントリー
XYストローク 200-700㎜ (スタンダード)
1m以上のカスタム対応可最大速度 お問い合わせください 精度 お問い合わせください ALIO Industries
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ハイアングル対応、高速ジンバル駆動ステージ
自動ステージ ALIO Industries ジンバルステージ
詳細仕様はお問い合わせください。
ALIO Industries
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True nano Tech 薄型高剛性ステージ
自動ステージ ALIO Industries XYステージ（デモ機あり）
ストローク 30-450㎜ 繰り返し精度 ±30nm 走り精度 お問い合わせください。 最大速度 お問い合わせください。 ALIO Industries
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比類なきTrue nano グレードのプラナーステージ
自動ステージ ALIO Industries プラナーステージ
詳細仕様はお取合せください。
ALIO Industries
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リニアモーター搭載で超大口径アパチャ薄型ステージ
自動ステージ ALIO Industries 大口径アパチャ薄型ステージ
開口径 φ100, 300mm 変位角度 ±7.5°, ±5° 繰り返し精度 < ±0.2秒 (nano Option時) メカニカルエラー お問い合わせください。 最大負荷 お問い合わせください。 ALIO Industries
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小型ハイパワー回転ステージ
自動ステージ ALIO Industries 回転ステージ
ステージ径 56-208mm 繰り返し精度 ±0.3秒 (nano Option時) 最高速度 1800°/秒 メカニカルエラー お問い合わせください。 最大負荷 お問い合わせください。 ALIO Industries
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小型高剛性Z軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries ボイスコイルモーター/クロスローラーガイドZ軸ステージ
ストローク 6-50mm 繰り返し精度 ±45nm 走り精度 お問い合わせください。 最大負荷 お問い合わせください。 ALIO Industries
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長ストロークZ軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries Z軸ステージ
ストローク 50-350mm 繰り返し精度 <±100nm、<1.0um (モーターによる) 走り精度 お問い合わせください。 最大負荷 お問い合わせください。 ALIO Industries
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エアベアリング搭載Z軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries エアベアリングZ軸ステージ
ストローク お問い合わせください。 繰り返し精度 お問い合わせください。 走り精度 お問い合わせください。 ALIO Industries
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小型高剛性3軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries XYZステージ
Xストローク 30㎜ 60㎜ Yストローク 30㎜ 60㎜ Zストローク 30㎜ 30㎜ 繰り返し精度 ±30nm ±30nm 最大負荷 お問い合わせください。 走り精度 お問い合わせください。 ALIO Industries
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長ストローク高精度ステージ
自動ステージ ALIO Industries 長ストロークステージ
ストローク 100-600㎜
600㎜以上のカスタム対応可能ステージ幅 選べる3サイズ５サイズ モータタイプ 選べる2タイプ 走り精度 お問い合わせください。 繰り返し精度 お問い合わせください ALIO Industries
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レーザー加工時に発生したパーティクルからステージを守る純正シールド
レーザー加工機用パーティクルシールド
XY Monolithic向け スタンダード: 200mmXY, 300mmXY用
カスタムでその他のステージに対応可詳細仕様はお問い合わせください。
ALIO Industries
