高精度6DOFレーザー干渉計

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NIST/ISO準拠、最大６軸同時に簡単精密測定できるレーザー干渉計（変位計）

このレーザー干渉計システムでは、光学モジュールの組み合わせにより、単軸から最大６DOF（X、Y、Z、ピッチ、ヨー、ロール）を同時に高精度測定することができます。システムの設置やアライメントはとても簡単です。
また、オプションの環境センサーや屈折率計などで測定用レーザーの波長を補正し、精度をさらに向上させることが可能です。ウエハ・FPDステッパーなどの半導体製造装置、CNCマシンなど工作機械分野や、モーションシステムの変位測定や各国の標準研究機関など、5000件を超える納入実績があり、世界でディファクトスタンダートになっています。

製品特徴

2周波縦モード安定化ゼーマンレーザーと測定原理

He-Neレーザーに縦磁場をかけることで、ゼーマン効果を起こして２周波縦モードのレーザーを発振し、干渉測定では高い精度と再現性を実現できます。また2周波のビームは、干渉計内で測定用反射鏡の移動によるドップラーシフトを起こし、検知信号と基準信号の差で物体の移動速度を知ることができます。そして時間との積をプロセッサーで計算すると、瞬間で位置データを正確に測ることができます。またこのゼーマンレーザー干渉計は２MHzで参照光と測定光を分離している為、ターゲットが停止時はちょうど２MHz、ターゲットが移動すると周波数が変わるヘテロダイン方式を利用しており、非常に正確に測定できます。このゼーマンレーザー干渉計の利点としては１．レーザーリファレンスの周波数が正確、２．ヘテロダイン技術により２MHzで動作でき、低周波のノイズを除去することができます。

干渉計用光学部品

様々なアプリケーションに対して、線形干渉計、平面鏡干渉計、微分干渉計、シングルビーム干渉計、角度干渉計、真直度干渉計などの光学系を多数ご用意しています。また、真空対応の干渉計、ビームベンダー、ビームスプリッターも用意しています。

豊富な測定アクセサリー

回転、振動、振れ測定などをより正確にするXYレーザー位置センサーは、反射率や色に関係なく、物体の表面のわずかな変化やZ方向の動きを測定します。　レベルメーターは0.1秒角の感度で物体の水平面からの傾きを測定します。　また、レーザー波長補正用にウエザーステーション（温度、相対湿度、気圧をリアルタイムで測定）や、屈折率計があります。オプションのCNC加工機の校正ツールで加工精度の維持や向上ができます。

仕様

直線位置決め	測定範囲:±5 m、精度:0.0005%(波長補正なし)、分解能10 nm
ヨーイング	測定範囲：±3600アーク秒: ±5°（角度補正）、精度±0.2%（表示値より）、分解能：0.1アーク秒
ピッチング	測定範囲：±3600アーク秒: ±5°（角度補正）、精度±0.2%（表示値より）、分解能：0.1アーク秒
ローリング	測定範囲：±3000アーク秒: ±3°（角度補正）、精度±0.3%（表示値より）、分解能：0.5アーク秒
水平度	測定範囲：±500µm、精度:±2µm+0.5µm/m、分解能：0.5µm
垂直度	測定範囲：±500µm、精度:±2µm+0.5µm/m、分解能：0.5µm
振動	測定範囲：±500µm（X,Y,Z軸同時）、精度:±2µm+0.5µm/m、分解能：0.5µm
データ平滑処理	10‐75秒間にセット可能（アプリケーションによる）