Products製品情報
自動ステージ
製品一覧
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小型高剛性3軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries XYZステージ
Xストローク 30㎜ 60㎜ Yストローク 30㎜ 60㎜ Zストローク 30㎜ 30㎜ 繰り返し精度 ±30nm ±30nm 最大負荷 お問い合わせください。 走り精度 お問い合わせください。 ALIO Industries
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True nano Tech 薄型高剛性ステージ
自動ステージ ALIO Industries XYステージ（デモ機あり）
ストローク 30-450㎜ 繰り返し精度 ±30nm 分解能 <5nm 最大速度 0.5-1.0m/sec ALIO Industries
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エアベアリング搭載Z軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries エアベアリングZ軸ステージ
ストローク お問い合わせください。 繰り返し精度 お問い合わせください。 走り精度 お問い合わせください。 ALIO Industries
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ハイエンド汎用ガントリー
自動ステージ ALIO Industries ガントリー
XYストローク 200-700㎜ (スタンダード)
1m以上のカスタム対応可最大速度 お問い合わせください 精度 お問い合わせください ALIO Industries
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ハイアングル対応、高速ジンバル駆動ステージ
自動ステージ ALIO Industries ジンバルステージ
詳細仕様はお問い合わせください。
ALIO Industries
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比類なきTrue nano グレードのプラナーステージ
自動ステージ ALIO Industries プラナーステージ
詳細仕様はお取合せください。
ALIO Industries
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小型高剛性Z軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries ボイスコイルモーター/クロスローラーガイドZ軸ステージ
ストローク 6-50mm 繰り返し精度 ±45nm 走り精度 お問い合わせください。 最大負荷 お問い合わせください。 ALIO Industries
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小型ハイパワー回転ステージ
自動ステージ ALIO Industries 回転ステージ
ステージ径 56-208mm 繰り返し精度 ±0.3秒 (nano Option時) 最高速度 1800°/秒 メカニカルエラー お問い合わせください。 最大負荷 お問い合わせください。 ALIO Industries
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リニアモーター搭載で超大口径アパチャ薄型ステージ
自動ステージ ALIO Industries 大口径アパチャ薄型ステージ
開口径 φ56～312mm 分解能 0.01-0.04 arc-sec 繰り返し精度 ～ ±30nm ALIO Industries
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長ストローク高精度ステージ
自動ステージ ALIO Industries 長ストロークステージ
ストローク 100-2000㎜ 繰り返し精度 ±30nm 分解能 <5nm 加速度 最大4G ALIO Industries
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業界最小クラスの極小ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:15mm×15mm～)（デモ機あり）
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 3～10mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.4Nm ブロッキングフォース 3N ベアリングフォース 20N 質量 6g mechOnics
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ナノポジショニング小型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:30mm×30mm～)（デモ機あり）
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 8～30mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.5Nm ブロッキングフォース 4.5N ベアリングフォース 30N 質量 32～54g mechOnics
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2軸ミラーチルトピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ミラーティルトピエゾステージ
稼働軸 2軸 調節可能角度 0.3～28μrad 分解能 10～900nm 最大速度 25mrad/s 積載量 100g 質量 46g mechOnics
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ナノポジショニング小型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:30mm×30ｍｍ～40mm×40mm)
稼働軸 1軸～2軸 ストローク 8～11mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.5Nm ブロッキングフォース 4.5N ベアリングフォース 30N 質量 32～50g mechOnics
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コンパクトサイズの3軸一体型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ３軸一体型小型ピエゾステージ
稼働軸 3軸 ストローク 2～10mm(XYZ) 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.15Nm ブロッキングフォース 2N 質量 46～76g mechOnics
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ナノポジショニングクローズドループ対応ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ: 70mm×70mm)
稼働軸 1軸～2軸 ストローク 15mm 分解能 1μm～20nm 最大速度 1.5mm/s 積載量 0.5Nm ブロッキングフォース 10N 質量 120g mechOnics
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ピエゾモーターステージ
自動ステージ NANOS Instruments ピエゾモーターステージ
NANOS Instruments
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1軸ピエゾ高速ティルトステージ
自動ステージ Piezosystem Jena ピエゾティルトステージ(1軸)
モデル ストローク 分解能 PSH4/1 ±2mrad 0.008urad PSH15/1 ±7.5mrad 0.03urad PSH30/2 ±15mrad 0.03urad Piezosystem Jena
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小型長ストロークX軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena X軸ピエゾステージ
ストローク 分解能 センサータイプ PX38 39um 0.07nm – PX38 SG 39um / 32um 0.07nm / 0.7nm SG PX50 CAP 50um / 40um 0.1nm / 1nm CAP PX100 100um 0.2nm – PX100 SG 100um / 80um 0.2nm / 2nm SG PX200 200um 0.4nm – PX200 SG 200um / 160um 0.4nm / 4nm SG PX200 CAP 200um / 160um 0.4nm / 2nm CAP PX300 300um 0.6nm – PX300 SG 300um / 240um 0.6nm / 6nm SG PX300 CAP 300um / 240um 0.6nm / 3nm CAP PX400 400um 0.8nm – PX400 SG 400um / 320um 0.8nm / 8 nm SG PX400 CAP 400um / 320um 0.8nm / 4nm CAP Piezosystem Jena
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薄型超高剛性プッシュプルピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena プッシュプルピエゾステージ
モデル 軸数 ストローク 分解能 nanoSX 400 1 450um 0.8nm nanoSX 400 CAP 1 450um / 350um 0.8nm / 1nm nanoSX 800 1 900um 1.6nm nanoSX 800 CAP 1 900um / 800um 4nm nanoSXY 120 2 120um 0.24nm nanoSXY 120 CAP 2 120um / 100um 0.24nm / 1nm nanoSXY 400 2 400um 0.8nm nanoSXY 400 CAP 2 400um / 320um 0.8 / 1nm 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
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小型長Z軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena Z軸ピエゾステージ
ストローク 分解能 センサータイプ PZ8 D12 8um 0.7nm – PZ8 D12 SG 8um / 6.4um 0.7nm / 8nm SG PZ20 D12 20um 0.7nm – PZ20 D12 SG 20um / 16um 0.7nm / 16nm SG PZ10 10um 0.02nm – PZ16 CAP 22um / 16um 0.04nm / 0.4nm CAP PZ38 38um 0.08nm – PZ38 SG 38um / 32um 0.08nm / 0.7nm SG PZ38 CAP 38um / 32um 0.08nm / 0.7nm CAP PZ100 100um 0.2nm – PZ100 SG 100um / 85um 0.2nm / 2nm SG PZ100 CAP 100um / 85um 0.2nm / 1nm CAP PZ200 OEM 200um 0.4nm – PZ200 SG OEM 200um / 160um 0.4nm / 4nm SG PZ400 OEM 400um 0.8nm – PZ400 SG OEM 400um / 320um 0.8nm / 8nm SG Piezosystem Jena
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小型長ストロークZ軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena Z軸ピエゾステージ
ストローク[um] 分解能[nm] センサータイプ PZ250 SG 350 / 250 0.7 SG PZ250 CAP WL 350 / 250 3 CAP PZ300 AP 370 0.6 – PZ300 CAP AP 370 / 300 0.6 / 1 CAP PZ400 400 0.8 – PZ400 SG 400 / 320 0.8 / 8 SG PZ700 SI 700 1.4 – Piezosystem Jena
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高剛性精密回転ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena 回転ステージ
モデル ストローク[mrad] 開口[mm] センサータイプ ROTOR 10 11 φ3 – ROTOR 10SG 9 φ3 SG Piezosystem Jena
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コンパクトな筐体に5軸を搭載したピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena 5軸ピエゾステージ
モデル ストローク[um] 開口[mm](φ) センサータイプ PENTOR 100 17 – PENTOR SG 100 17 SG Piezosystem Jena
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オリエンテーションフリーブロックタイプピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena オリエンテーションフリーピエゾステージ
ストローク 40-100um 共振周波数 <1320Hz センサーオプション ストレンゲージタイプ 詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
モデル ストローク[um] 分解能[nm] 最大発生力[N] センサータイプ PU40 40 0.08 32 – PU40 SG 32 0.08 / 0.8 32 SG PU90 90 0.18 135 – PU90 SG 72 0.18 / 1.8 135 SG PU100 100 0.2 135 – PU100 SG 80 0.2 / 2 135 SG PU65 HR 65 for Scan 48 – Piezosystem Jena
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小型長ストロークXYZ3軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena XYZ3軸ピエゾステージ
モデル ストロークum(オープン/クローズ) 開口 センサータイプ MicroTritor 9 – – miniTritor 38 – – Tritor38 38/30 – SG Tritor50 50/40 – – Tritor100 100/80 – SG, CAP Tritor102 100/80 φ40㎜ SG, CAP Tritor320 50X50Y400Z/40X40Y320Z 150x150mm CAP Tritor400 400/320 12.5㎜ SG, CAP Piezosystem Jena
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小型長ストロークXYZ3軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena XYZ3軸ピエゾステージ
Piezosystem Jena
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ユニークデザインで高剛性なXY2軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena XYピエゾステージ
モデル ストローク[um] 開口[mm] センサータイプ PXY D12 40/-、80/65、200/160 SG PXY16 16/12 φ66 – PXY16 OEM 16/12 L字 CAP PXY36 36/30 50ｘ50mm – PXY38 38/32 – SG, CAP ScanXY40 40 φ15mm – PXY100 100/90 – SG, CAP PXY102 100/80 φ40mm SG, CAP PXY200 200/160 φ28mm SG PXY201 250/200 30ｘ30mm CAP PXY400 400 22x22mm – Piezosystem Jena
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小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SOLANO
XYストローク ±18mm Zストローク ±6.5mm チルト <±10° 回転(ZΘ) ±21° 繰り返し精度(XYZ) ±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±4μrad サイズ φ120mm 高さ(Z中間地点)104mm 開口φ32mm 耐荷重 5kg Symetrie
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小型高精度ヘキサポッドステージ BORA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BORA
XYストローク ±20mm Zストローク ±10mm チルト <±10° 回転(ZΘ) ±15° 繰り返し精度(XYZ) ±0.4μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±3.2μrad サイズ φ210mm 高さ(Z中間地点)145mm 開口φ36mm 耐荷重 10kg Symetrie
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小径高精度ヘキサポッドステージ MAUKA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ MAUKA
XYストローク ±5mm Zストローク ±10mm チルト <±8° 回転(ZΘ) ±8° 繰り返し精度(XYZ) ±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±5μrad サイズ φ107mm 高さ(Z中間地点)198mm 開口φ30mm 耐荷重 5kg Symetrie
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小型ダイナミックヘキサポッドステージ HEGOA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ HEGOA
XYストローク ±100mm Zストローク ±50mm チルト <±23° 回転(ZΘ) ±30° XYZスピード ±200mm/s チルト/回転スピード ±50mm/s サイズ φ322mm 高さ(Z中間地点)420mm 耐荷重 50kg 重量 3kg Symetrie
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シンプル高精度ヘキサポッドステージ PUNA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ PUNA
XYストローク ±30mm Zストローク ±20mm チルト <±11° 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) ±0.75μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±3.2μrad サイズ φ320mm 高さ(Z中間地点)200mm 開口φ144mm 耐荷重 25kg Symetrie
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高精度ヘキサポッドステージ BREVA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BREVA
XYストローク ±75mm Zストローク ±50mm チルト <±20° 回転(ZΘ) ±22° 繰り返し精度(XYZ) ±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±2.5μrad サイズ φ606mm 高さ(Z中間地点)350mm 開口φ250mm 耐荷重 200kg Symetrie
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高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA
XYストローク ±50mm/±200mm(長ストロークモデル) Zストローク ±25mm/±150mm(長ストロークモデル) チルト <±10°/±20°(長ストロークモデル) 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) ±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±2.5μrad/±1μrad(長ストロークモデル) サイズ φ320mm 高さ(Z中間地点)360mm/φ720mm 高さ(Z中間地点)640mm(長ストロークモデル) 耐荷重 400kg Symetrie
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高精度長ストロークヘキサポッドステージ SIRIUS
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SIRIUS
XYストローク ±150mm Zストローク ±100mm チルト <±16° 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) XY±3μm Z±2μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) RxRy±10μrad Rz±17.5μrad サイズ φ520mm 高さ(Z中間地点)750mm 耐荷重 500kg Symetrie
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高安定高精度ヘキサポッドステージ KUBAN
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ KUBAN
XYストローク ±75mm Zストローク ±45mm チルト <±5° 回転(ZΘ) ±10° 繰り返し精度(XYZ) XY±0.2μm Z±0.1μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) RxRy±2.5μrad Rz±4μrad サイズ φ450mm 高さ(Z中間地点)600mm 開口φ200mm 耐荷重 500kg Symetrie
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1500kg耐荷重高安定高精度長ストロークヘキサポッドステージ JORAN
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ JORAN
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ryスピード
(°/s)Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) JORAN BJ ±75 ±50 ±5 ±8 0.6 0.4 0.045 0.07 1500 JORAN UJ ±170 ±100 ±10 ±18 0.6 0.4 0.045 0.07 1500 Symetrie
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500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SURES
XYストローク ±8mm Zストローク ±6mm チルト <±1° 回転(ZΘ) ±1° 繰り返し精度(XY) ±0.25μm 繰り返し精度(Z) ±0.13μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±0.5μrad サイズ φ690mm 高さ(Z中間地点)360mm 耐荷重 500kg Symetrie
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コンパクトダイナミックヘキサポッドステージ NOTUS
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ NOTUS
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ry Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) NOTUS P ±250 ±200 ±25 ±30 800 300 50 200 NOTUS V ±250 ±200 ±25 ±30 1200 640 135 100 Symetrie
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ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ MISTRAL
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ryスピード
(°/s)Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) MISTRAL 600 ±400 ±300 ±30 ±40 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) 1000/500 MISTRAL 800 ±460 ±400 ±30 ±40 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) 1000/500 Symetrie
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小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SIROCCO
XYストローク ±600mm Zストローク ±500mm チルト,回転 <±40° XYスピード ±2000mm/s Zスピード ±1600mm/s チルトスピード ±200°/s 回転スピード ±100°/s サイズ φ3350mm 高さ(Z中間地点)2850mm 耐荷重 2000kg Symetrie
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パワフルヘキサポッドステージ AQUILON
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ AQUILON
XYストローク ±800mm Zストローク ±650mm チルト <±200° 回転(ZΘ) ±100° XYスピード ±1800mm/s Zスピード ±1600mm/s チルトスピード ±200°/s 回転スピード ±100°/s サイズ φ2100mm 高さ(Z中間地点)3311mm 耐荷重 6000kg Symetrie
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カスタムヘキサポッドステージ
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ カスタム品
Symetrie
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エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ
自動ステージ PRECIBEO エンコーダー内蔵ピエゾステージ
ストローク 20mm-50mm 分解能 2nm 最大速度 8mm/s(無負荷時) 最大荷重 <0.5kg サイズ 45×45×14mm PRECIBEO
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真空度10-6 mbar対応！エンコーダー内蔵真空対応ピエゾモーターステージ！
自動ステージ PRECIBEO 真空対応エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ
ストローク 20mm(35mm,50mmについてはお問い合わせください) 分解能 2nm(35mm,50mmストロークは4nm) 最大速度 8mm/s(無負荷時) 最大荷重 <0.5kg サイズ 45×45×14mm PRECIBEO
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小型ヘキサポッド/多軸ステージ！
自動ステージ PRECIBEO ヘキサポッドステージ/多軸ステージ
ストローク XYZ±10mm,Θ(XYZ)±10° 分解能 2nm 最大速度 8mm/s(無負荷時) 最大荷重 1kg PRECIBEO