小型長ストロークZ軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena Z軸ピエゾステージ
ストローク[um] | 分解能[nm] | センサータイプ | |
---|---|---|---|
PZ250 SG | 350 / 250 | 0.7 | SG |
PZ250 CAP WL | 350 / 250 | 3 | CAP |
PZ300 AP | 370 | 0.6 | – |
PZ300 CAP AP | 370 / 300 | 0.6 / 1 | CAP |
PZ400 | 400 | 0.8 | – |
PZ400 SG | 400 / 320 | 0.8 / 8 | SG |
PZ700 SI | 700 | 1.4 | – |
Piezosystem Jena