業界最小クラスの極小ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:15mm×15mm~)(デモ機あり)
稼働軸 | 1軸~3軸 |
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ストローク | 3~10mm |
分解能 | 10~900nm |
最大速度 | 1.2mm/s |
積載量 | 0.4Nm |
ブロッキングフォース | 3N |
ベアリングフォース | 20N |
質量 | 6g |
mechOnics
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業界最小クラスの極小ピエゾステージ
稼働軸 | 1軸~3軸 |
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ストローク | 3~10mm |
分解能 | 10~900nm |
最大速度 | 1.2mm/s |
積載量 | 0.4Nm |
ブロッキングフォース | 3N |
ベアリングフォース | 20N |
質量 | 6g |
mechOnics
長ストローク高精度ステージ
ストローク | 100-2000㎜ |
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繰り返し精度 | ±30nm |
分解能 | <5nm |
加速度 | 最大4G |
ALIO Industries
小型高剛性3軸ステージ
Xストローク | 30㎜ | 60㎜ |
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Yストローク | 30㎜ | 60㎜ |
Zストローク | 30㎜ | 30㎜ |
繰り返し精度 | ±30nm | ±30nm |
最大負荷 | お問い合わせください。 | |
走り精度 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
エアベアリング搭載Z軸ステージ
ストローク | お問い合わせください。 |
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繰り返し精度 | お問い合わせください。 |
走り精度 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
小型高剛性Z軸ステージ
ストローク | 6-50mm |
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繰り返し精度 | ±45nm |
走り精度 | お問い合わせください。 |
最大負荷 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
小型ハイパワー回転ステージ
ステージ径 | 56-208mm |
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繰り返し精度 | ±0.3秒 (nano Option時) |
最高速度 | 1800°/秒 |
メカニカルエラー | お問い合わせください。 |
最大負荷 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
リニアモーター搭載で超大口径アパチャ薄型ステージ
開口径 | φ56~312mm |
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分解能 | 0.01-0.04 arc-sec |
繰り返し精度 | ~ ±30nm |
ALIO Industries
比類なきTrue nano グレードのプラナーステージ
詳細仕様はお取合せください。
ALIO Industries
True nano Tech 薄型高剛性ステージ
ストローク | 30-450㎜ |
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繰り返し精度 | ±30nm |
分解能 | <5nm |
最大速度 | 0.5-1.0m/sec |
ALIO Industries
ハイアングル対応、高速ジンバル駆動ステージ
詳細仕様はお問い合わせください。
ALIO Industries
ハイエンド汎用ガントリー
XYストローク | 200-700㎜ (スタンダード) 1m以上のカスタム対応可 |
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最大速度 | お問い合わせください |
精度 | お問い合わせください |
ALIO Industries
ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース!360°回転も可能!Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
XYストローク | ≧60mm |
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Zストローク | ≧6mm |
チルト | <±30° |
回転(ZΘ) | 360° |
繰り返し精度 | ±80nm |
ALIO Industries
高分解能アジャスター付きXYZフレクシャーステージ
シングルモードファイバー用アライメントシステム | |
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標準ファイバーフォルダー | 125/250 µmクラッド/ジャケット |
フォルダーオプション | FC/SMAコネクター |
ストローク | XYZ各軸2㎜ |
負荷 | 4.5㎏ |
サイズ | 95mm x 88mm x 76mm |
Elliot Scientific
世界最小クラスの超小型マイクロポジショナーステージ
1軸マイクロポジショナー | 2軸XYマイクロポジショナー | 3軸XYZマイクロポジショナー | 2軸XZマイクロポジショナー | |
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移動距離 | 3㎜ | 3㎜ | 3㎜ | 3㎜ |
分解能 | <0.5µm | <0.5µm | <0.5µm | <0.5µm |
ピッチ | 100TPI | 100TPI | 100TPI | 100TPI |
サイズ | 12 mm x 16 mm x 6.6mm | 12 mm x 16 mm x 11mm | 25 mm x 25 mm x 23mm | 12 mm x 16 mm x 22mm |
取付穴 | 4xM1.6、2㎜深さ | 4xM1.6、2㎜深さ | 表面4xM1.6、2㎜深さ 裏面M4マウント |
4xM1.6、2㎜深さ |
超小型マイクロポジショナーシリーズ専用 ローテーション360°、分解能30arc秒、ファイバーフェルール(直径4.5mmまで)の保持のみ。
超小型マイクロポジショナーシリーズ専用 125µm径ベアファイバーを磁石で固定できる。小型磁石付属。
Elliot Scientific
コンパクト精密360度回転ステージ
サイズ | |
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精密穴あき回転ステージ | 外径48㎜x厚み13㎜ 標準ボア径 8㎜φ |
小型薄型精密回転ステージ | 外径33㎜x厚み13㎜ 標準ボア径 2㎜φ |
高精度設計、クランプねじにより360°フリーローテーション、ステンレス鋼製ボディ、分解能5アーク秒
Elliot Scientific