自動ステージ  ALIO Industries ジンバルステージ

ALIO Industries社について

各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。 レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。

ハイアングル対応、高速ジンバル駆動ステージ

近年、レーザー加工で求められる>45°のレーザー入射角。ALIO Industries社からの提案が5D Laser Ginbalとなります。高精度ジンバル駆動+高精度モノリシックXY+ Z軸のコンビネーションの一見、複雑な駆動系を多軸補間をコントローラーに埋め込むことにより、ユーザーはシンプルなGUIで高速・高精度のステージとレーザー(On/off, Power等)の同期制御が可能となります。

製品特徴


  • 45°を超える画角を高精度に再現可能。

    直交した2軸の回転ステージとMonolithic XYステージを組み合わせることにより、任意に規定した回転中心で制御が可能です。2軸の回転ステージを使用しているので、大きな角度の制御が高速に行うことが可能です。


  • ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッド

    2軸の回転とXYステージの同期演算をコントローラーに埋め込んでいる為、ユーザーは座標制御でコントロールが可能。起動中に回転軸(TCP)をソフトウエアから任意の座標に設定可能、これにより動作を止めることなく、自由度の高い動作が可能。動作軸の同期だけではなく、レーザーのOn/Off、Powerコントロールの高速同期制御によりハイスピード、高精度のレーザー加工機の制御を実現します。


  • 高性能モーター/光学エンコーダー採用

    欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。


  • Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード

    多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。


  • 様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。

    ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。

仕様

詳細仕様はお問い合わせください。

注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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