各種ピエゾアクチュエーターの特性を知りつくした技術陣により製造されるモーションシステムはニーズに適した設計がなされ、高精度で長寿命なナノ、マイクロポジショニング製品になっています。もちろん、真空用途、非磁性用途などにも対応しており、用途に適したピエゾドライバーも揃っています。標準品では対応できない場合にも特注品の設計製作も可能です。
Xeryon
Xeryon社について
注目の動画
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長寿命でノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いた精密ステージです。ほとんどのピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、完全に無音にします。またXeryon製の回転やリニアステージの組み合わせやインストール操作がとても簡単です。
自動ステージ Xeryon ピエゾ超音波ステージ
稼働軸 3軸 ストローク 10~120mm 分解能 1.25µm~1nm 推進力 1~3N サイズ 30x34x13㎜~120x49x13㎜ 真空オプション 10^-6mbar Xeryon
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世界最小級、わずか6g!クローズドループ制御可能の高速アクチュエーター
ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター Xeryon 超音波ピエゾアクチュエータ
ストローク 5-185mm 保持力 1N/3N アクチュエーター材質 陽極酸化アルミニウム(ハウジング)、ステンレススチール(ロッド、ハウジングカバー) 寸法 22.7 x 14.8 x 5.4 mm(アクチュエーター部分) Xeryon
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コンパクトで正確なピエゾ回転ステージ
自動ステージ Xeryon ピエゾ回転ステージ
分解能 3~109μrad 回転速度 12 ~720度/s サイズ 40x35x21(mm)~50x46x21(㎜) Xeryon
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1.5kg耐荷重のZステージ!
自動ステージ Xeryon 高耐荷重ピエゾ超音波Zステージ
稼働軸 1軸 ストローク 10mm 分解能 1.25µm~1nm 推進力 15N サイズ 80x80x40㎜ 真空オプション 10^-9mbar Xeryon