小型高剛性Z軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries ボイスコイルモーター/クロスローラーガイドZ軸ステージ
| ストローク | 6-50mm |
|---|---|
| 繰り返し精度 | ±45nm |
| 走り精度 | お問い合わせください。 |
| 最大負荷 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
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製品カテゴリ：自動ステージ
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小型ハイパワー回転ステージ
自動ステージ ALIO Industries 回転ステージ
ステージ径 56-208mm 繰り返し精度 ±0.3秒 (nano Option時) 最高速度 1800°/秒 メカニカルエラー お問い合わせください。 最大負荷 お問い合わせください。 ALIO Industries
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リニアモーター搭載で超大口径アパチャ薄型ステージ
自動ステージ ALIO Industries 大口径アパチャ薄型ステージ
開口径 φ56～312mm 分解能 0.01-0.04 arc-sec 繰り返し精度 ～ ±30nm ALIO Industries
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比類なきTrue nano グレードのプラナーステージ
自動ステージ ALIO Industries プラナーステージ
詳細仕様はお取合せください。
ALIO Industries
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True nano Tech 薄型高剛性ステージ
自動ステージ ALIO Industries XYステージ（デモ機あり）
ストローク 30-450㎜ 繰り返し精度 ±30nm 分解能 <5nm 最大速度 0.5-1.0m/sec ALIO Industries
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ハイアングル対応、高速ジンバル駆動ステージ
自動ステージ ALIO Industries ジンバルステージ
詳細仕様はお問い合わせください。
ALIO Industries
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ハイエンド汎用ガントリー
自動ステージ ALIO Industries ガントリー
XYストローク 200-700㎜ (スタンダード)
1m以上のカスタム対応可最大速度 お問い合わせください 精度 お問い合わせください ALIO Industries
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ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース！360°回転も可能！Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
自動ステージ ALIO Industries ヘキサポッド ステージ
XYストローク ≧60mm Zストローク ≧6mm チルト <±30° 回転(ZΘ) 360° 繰り返し精度 ±80nm ALIO Industries
