各種ピエゾアクチュエーターの特性を知りつくした技術陣により製造されるモーションシステムはニーズに適した設計がなされ、高精度で長寿命なナノ、マイクロポジショニング製品になっています。もちろん、真空用途にも対応しており、用途に適したピエゾドライバーも揃っています。標準品では対応できない場合にも特注品の設計製作も可能です。
自動ステージ Xeryon 高耐荷重ピエゾ超音波Zステージ
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1.5kg耐荷重のZステージ！
2 つの超音波ピエゾ モーターによって駆動される精密なZ軸リニアステージです。垂直方向の大きなペイロードをに対応する特別設計となっています。高速ポジショニングとナノメートル精度を組み合わせており、小さな容積で大きな力を出力します。 Xeryon の超音波ピエゾ モーターは、長寿命でノイズや振動のない動作を保証します。さらに、セルフロッキングピエゾモーターは、電源を切ってもステージの位置を保持します。
製品特徴
超高真空、非磁性対応
10＾-9mbarまでの超高真空と非磁性に対応しております。
仕様
| 稼働軸 | 1軸 |
|---|---|
| ストローク | 10mm |
| 分解能 | 1.25µm～１nm |
| 推進力 | 15N |
| サイズ | 80x80x40㎜ |
| 真空オプション | 10＾-9mbar |
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
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