フランス国立計測研究所LNEのエンジニアによって、フランス ニームに2001年設立されたSymetrie社は6軸ヘキサポッドステージに特化したヘキサポッドステージメーカーです。最大6000kgの耐荷重の標準製品や産業界や超高真空、非磁性対応のカスタム品、研究機関からの厳しい基準に沿った高精度なヘキサポッドステージを製造、開発しています。
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SURES
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アプリケーション:
仕様
XYストローク | ±8mm |
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Zストローク | ±6mm |
チルト | <±1° |
回転(ZΘ) | ±1° |
繰り返し精度(XY) | ±0.25μm |
繰り返し精度(Z) | ±0.13μm |
繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) | ±0.5μrad |
サイズ | φ690mm 高さ(Z中間地点)360mm |
耐荷重 | 500kg |
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
応用例


Symetrie社について

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