フランス国立計測研究所LNEのエンジニアによって、フランス ニームに2001年設立されたSymetrie社は６軸ヘキサポッドステージに特化したヘキサポッドステージメーカーです。最大6000kgの耐荷重の標準製品や産業界や超高真空、非磁性対応のカスタム品、研究機関からの厳しい基準に沿った高精度なヘキサポッドステージを製造、開発しています。
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SOLANO
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小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
SOLANO は、最小 0.08 µm の分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッドです。 SOLANO ヘキサポッドは、サイズ、分解能、精度、安定性の点で、要求の厳しい分野からの高まる要求に応えます。 その寸法は、高さ 104 mm と直径が 120 mm と小さいため、狭い環境への統合が可能です。SOLANOは縦置きと横置きの2つの向きで使用可能です。
仕様
| XYストローク | ±18mm |
|---|---|
| Zストローク | ±6.5mm |
| チルト | <±10° |
| 回転(ZΘ) | ±21° |
| 繰り返し精度(XYZ) | ±0.25μm |
| 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) | ±4μrad |
| サイズ | φ120mm 高さ(Z中間地点)104mm 開口φ32mm |
| 耐荷重 | 5kg |
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
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