フランス国立計測研究所LNEのエンジニアによって、フランス ニームに2001年設立されたSymetrie社は６軸ヘキサポッドステージに特化したヘキサポッドステージメーカーです。最大6000kgの耐荷重の標準製品や産業界や超高真空、非磁性対応のカスタム品、研究機関からの厳しい基準に沿った高精度なヘキサポッドステージを製造、開発しています。
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ PUNA
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シンプル高精度ヘキサポッドステージ PUNA
PUNA は、研究や産業における高精度位置決めアプリケーションを最適な予算で満たすシンプルなヘキサポッドです。 耐荷重 25 kg に対して、XYZで 0.5 μm、回転で 5 μrad (0.0003 °) の分解能を提供します。 設計を簡素化するために、モーターはインラインで取り付けられ、インクリメンタルロータリーエンコーダーが組み込まれています。
仕様
| XYストローク | ±30mm |
|---|---|
| Zストローク | ±20mm |
| チルト | <±11° |
| 回転(ZΘ) | ±20° |
| 繰り返し精度(XYZ) | ±0.75μm |
| 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) | ±3.2μrad |
| サイズ | φ320mm 高さ(Z中間地点)200mm 開口φ144mm |
| 耐荷重 | 25kg |
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
応用例
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