様々なストロークを用意

最大開口サイズ:1.5mm

様々な材質のスリットを選択可能

SUS・Si・タングステン等を始め様々なスリットの取付が可能。

2枚のスリットを同時制御

一つのPZTで2枚のエッジをコントロールするため、中心を規定して開閉が可能。また、フレクシャーを使用しているので、精密な平行移動が可能。

選べるエッジ配置

2枚のエッジの裏表をオーダー時に選ぶことが可能。

ナノメーター分解能

低ノイズのドライバー・コントローラーを使用することにより、ナノメーターの分解能を実現可能。

クローズドループセンサー内蔵モデル

ストレンゲージ(ひずみゲージ)内蔵により、高精度なクローズドループが可能。

真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応

ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。宇宙空間での使用実績もあります。