ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター　Piezosystem Jena　マイクロメーター用ピエゾアクチュエーター

メーカー：

Piezosystem Jena

カテゴリ：

アプリケーション：

標準品のマイクロメーターに取り付けて、微動制御が可能

一般メーカーのマイクロメーターに対して、ダイレクトに取り付けて、粗動はマイクロメーター、微動はピエゾステージで調整が可能。センサー付きのモデルもあり、長期間の位置安定性が必要なアプリケーションにも最適です。

製品特徴

様々なストロークを用意

motion up to 250µm
ストローク:80－250

一般的なマイクロメーターにつけることが可能

Mitutoyo社、ニューポート社、Qioptiq社等のマイクロメーターにダイレクトに取り付けて、通常のマイクロメーター同様に使用することが可能です。

独自フレクシャヒンジデザイン

独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。コンパクトで高い共振周波数のステージ。

エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御

ストレンゲージセンサー(歪タイプ)内蔵モデルがあります。

仕様

詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

モデル	ストローク	分解能	発生力
MICI80	80um	0.1nm	216N
MICI80SG	80um / 64um	0.1nm/2nm	216N
MICI180	180um	0.4nm	144N
MICI180SG	180um / 144um	0.4nm/4nm	144N
MICI200	250um	250um	110N
MICI200SG	250um / 200um	250nm/200nm	110N

オプション

商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。

資料ダウンロード

MICIシリーズ 80 • 180 • 200　データシート

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ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型３軸ステージから多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。

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