ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型3軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。
ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター Piezosystem Jena マイクロメーター用ピエゾアクチュエーター
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製品特徴
仕様
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モデル | ストローク | 分解能 | 発生力 |
---|---|---|---|
MICI80 | 80um | 0.1nm | 216N |
MICI80SG | 80um / 64um | 0.1nm/2nm | 216N |
MICI180 | 180um | 0.4nm | 144N |
MICI180SG | 180um / 144um | 0.4nm/4nm | 144N |
MICI200 | 250um | 250um | 110N |
MICI200SG | 250um / 200um | 250nm/200nm | 110N |
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
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