わずか15mm角、厚さ7mm、ストローク3mm、重さ6gの超小型ピエゾステージから、50mm ストロークまでの多種類X、XY、XYZステージを揃えています。通常環境以外に、超真空 (10-10mbar)、極低温(4K)などに適応する機種があり、使い勝手の良いドライバーも用途に合わせ各種用意されています。メコニクスの新製品マルチアクチュエーターを組み込んだ10mmストロークステージはNOVAコントローラーを使用することで16Nというブロッキングフォースが得られます。
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:15mm×15mm~)(デモ機あり)
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製品特徴
仕様
稼働軸 | 1軸~3軸 |
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ストローク | 3~10mm |
分解能 | 10~900nm |
最大速度 | 1.2mm/s |
積載量 | 0.4Nm |
ブロッキングフォース | 3N |
ベアリングフォース | 20N |
質量 | 6g |
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
応用例
mechOnics社の超高真空対応ステージが可能とするアプリケーション
mechOnics社のステージは、準静的アプリケーションではほとんど電力を必要としません。 真空環境を必要とする宇宙関連や、物理実験の多くの実験に非常に有効です。 10^(-9mbar) までの真空対応モデルを標準品でご用意しておりますが、 10^(-10~-11mbar) までのカスタム対応の実績もあります。

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