わずか15mm角、厚さ7mm、ストローク3mm、重さ6gの超小型ピエゾステージから、50mm ストロークまでの多種類X、XY、XYZステージを揃えています。通常環境以外に、超真空 (10-10mbar)、極低温(4K)などに適応する機種があり、使い勝手の良いドライバーも用途に合わせ各種用意されています。メコニクスの新製品マルチアクチュエーターを組み込んだ10mmストロークステージはNOVAコントローラーを使用することで16Nというブロッキングフォースが得られます。
mechOnics
mechOnics社について
-
業界最小クラスの極小ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:15mm×15mm～)（デモ機あり）
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 3～10mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.4Nm ブロッキングフォース 3N ベアリングフォース 20N 質量 6g mechOnics
-
ナノポジショニング穴あき小型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics 穴あきピエゾステージ (サイズ:30mm×30mm)
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 8mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.5mm/s 積載量 0.4Nm ブロッキングフォース 4.5N ベアリングフォース 20N 質量 32g mechOnics
-
ナノポジショニング小型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:30mm×30mm～)（デモ機あり）
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 8～30mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.5Nm ブロッキングフォース 4.5N ベアリングフォース 30N 質量 32～54g mechOnics
-
極低温対応可能ナノポジショニング小型ピエゾステージを標準品でご用意。
自動ステージ mechOnics 極低温対応ピエゾステージ (サイズ:17mm×65mm)
稼働軸 1軸～3軸 ストローク 5mm 分解能 200～1000nm 最大速度 1mm/s 積載量 3Ncm ブロッキングフォース 1N ベアリングフォース 1N 質量 25g mechOnics
-
2軸ミラーチルトピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ミラーティルトピエゾステージ
稼働軸 2軸 調節可能角度 0.3～28μrad 分解能 10～900nm 最大速度 25mrad/s 積載量 100g 質量 46g mechOnics
-
ナノポジショニング小型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:30mm×30ｍｍ～40mm×40mm)
稼働軸 1軸～2軸 ストローク 8～11mm 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.5Nm ブロッキングフォース 4.5N ベアリングフォース 30N 質量 32～50g mechOnics
-
コンパクトサイズの3軸一体型ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ３軸一体型小型ピエゾステージ
稼働軸 3軸 ストローク 2～10mm(XYZ) 分解能 10～900nm 最大速度 1.2mm/s 積載量 0.15Nm ブロッキングフォース 2N 質量 46～76g mechOnics
-
ナノポジショニングクローズドループ対応ピエゾステージ
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ: 70mm×70mm)
稼働軸 1軸～2軸 ストローク 15mm 分解能 1μm～20nm 最大速度 1.5mm/s 積載量 0.5Nm ブロッキングフォース 10N 質量 120g mechOnics
