11mradのストロークを用意

ステージ中心を精密に回転軸に設計。

独自フレクシャヒンジデザイン

独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。コンパクトで高い共振周波数のステージ。

エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御

ストレンゲージセンサー(歪タイプ)オプションがあり、サイズアップなくセンサーを内蔵可能。最小分解能は0.02urad。

光軸等で使いやすい中空ステージ

回転中心に3㎜のアパチャがあるのでレーザー光等を通すことができるので、結晶等の微細な角度が影響する研究に最適です。

外気温変化の影響を相殺

ステージ内に相殺機能を組み込まれているので、様々な環境下で微細な調整、保持を要求されるアプリケーションにも最適です。

真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応

ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。宇宙空間での使用実績もあります。

回転中心ズレのない、特殊デザイン

結晶解析のアプリケーション等、アパチャに光を通して使用した際にも軸ズレを極力おこなさないデザイン。