ストロークを用意

最大ストローク：100um

独自フレクシャヒンジデザイン

独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。長ストロークながら、コンパクトで高い共振周波数のステージ。

5軸同時制御でマイクロアッセンブリに最適

nmオーダーの位置決めをXYZθ(x,y)で同時で高速に可能。ファイバーのシリコンオプティクス等、高速、高精度の位置決め用途に最適。

エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御

ストレンゲージセンサー(歪タイプ)内蔵モデルがあります。

真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応

ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。宇宙空間での使用実績もあります。

様々な用途に対応する大開口モデル

最大有効径は17㎜