各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティーな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。
自動ステージ ALIO Industries XYステージ（デモ機あり）
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True nano Tech 薄型高剛性ステージ
ALIO Industries社が世界中のハイエンドステージメーカーにインパクトを与えた3枚板によるXYステージシステム。従来の1軸を組み合わせる方式ではなく、XY軸を一体型にすることにより、高精度と高剛性を同時に達成することに成功したALIO Industries社の代名詞的なステージです。
※ご希望の際は下記お問い合わせフォームより”デモ希望”とお書きの上、ご連絡ください。
製品特徴
3枚板の薄型高剛性デザイン
中板の両面に高精度クロスローラーを直交させることにより、薄型デザインで高精度、高剛性を実現。ストロークは問わず、±30nmの繰り返し精度を次世代規格6D Point Precisionで実現。
高性能モーター/光学エンコーダー採用
欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。
MTBF > 100,000h。
Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード
多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。
様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。
ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。
仕様
| ストローク | 30-450㎜ |
|---|---|
| 繰り返し精度 | ±30nm |
| 分解能 | <5nm |
| 最大速度 | 0.5-1.0m/sec |
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
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