各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティーな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。
自動ステージ ALIO Industries ジンバルステージ
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製品特徴

45°を超える画角を高精度に再現可能。
直交した2軸の回転ステージとMonolithic XYステージを組み合わせることにより、任意に規定した回転中心で制御が可能です。2軸の回転ステージを使用しているので、大きな角度の制御が高速に行うことが可能です。
仕様
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オプション
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