各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティーな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。
自動ステージ ALIO Industries ヘキサポッド ステージ
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ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース！360°回転も可能！Patented！高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
ALIO Industries社のパテントテクノロジー。パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメントなどのアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしています。
製品特徴
長ストロークのパラレルキネマティック
技術的にはメーターストロークのXYが可能（スタンダードでも400mm）。Z: <205mm, Θx, θy: <40°, θz: 360°のストロークを誇るTrue nanoステージ。組み合わせにより、小型から大型タイプまでのラインナップがあります。
ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッド
キネマティックな演算をコントローラーに埋め込んでいるため、ユーザーは座標制御で位置決めが可能。起動中に回転軸（TCP）をソフトウエアから任意の座標に設定できます。これにより動作を止めることなく、自由度の高い動作を実現します。
高性能モーター／光学エンコーダー採用
欧米製の一流メーカー品を採用することにより、精度だけでなく、高い信頼性を実現しました（MTBF>100,000h）。
Ultra／Nanoオプションで標準アップグレード
多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の高性能化により、精度が大きく向上します。
さまざまなステージとダイレクトアッセンブリー可能
ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージに対し、アダプタープレートを介さずダイレクトに取り付けが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。
仕様
| XYストローク | ≧60mm |
|---|---|
| Zストローク | ≧6mm |
| チルト | <±30° |
| 回転(ZΘ) | 360° |
| 繰り返し精度 | ±80nm |
XYZストロークは上限なく対応可能です。詳細仕様はお問い合わせください。
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
応用例
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