ナノスインストゥルメンツ社(独)はスウェーデンウプサラにあるピエゾモーター社のピエゾモーターを利用し、各種バックラッシュのない精密ステージ類を製作しています。ユーザーアプリケーションに必要なX、XY、XYZ、θ等、数多く品数を揃え、オープンループはもちろん、エンコーダーを組み込んだクローズドループタイプにも対応しています。またモーターに対応するコントローラーも提供しています。
ナノスインストゥルメンツ社(独)はスウェーデンウプサラにあるピエゾモーター社のピエゾモーターを利用し、各種バックラッシュのない精密ステージ類を製作しています。ユーザーアプリケーションに必要なX、XY、XYZ、θ等、数多く品数を揃え、オープンループはもちろん、エンコーダーを組み込んだクローズドループタイプにも対応しています。またモーターに対応するコントローラーも提供しています。