世界最小級サブミクロン精度（標準0.2 µm、最小75 nm）の高速２D・３D光造形システム
3D光造形機 Microlight3D 世界最小級3D光造形機
µFAB3D-Standard
| 平面分解能（X, Y） | < 0.2 µm |
|---|---|
| 垂直分解能（Z） | < 0.6 µm |
| 合わせ目なしの書込み領域 | 100 x 100 x 100 µm3, 200 x 200 x 200 µm3（Piezo 200 オプション）、300 x 300 x 300 µm3（Piezo 300 オプション） |
| 位置分解能 | 2 nm |
| 書込み速度（X, Y） | 100 µm/s（分解能0.2 µm設定時）、最大1.5 mm/s（分解能3 µm設定時） |
| 書込み速度（Z） | 600 µm/s（分解能0.6 µm設定時）、最大5 mm/s（分解能10 µm設定時） |
| 表面粗さ | 20 nm以下（防振台オプション）、最大1 – 5 µm （防振台なし） |
| レーザー光源 | 532 nmパルスレーザー |
| カメラ | 1280 x 1024ピクセル、1/2インチ、8ビット |
| サンプルホルダー | 76 x 26 mm、24 x 24 mm （基板用） |
Smart Print UV-Standard
| 光源 | 露光：385 nm、アライメント：590 nm |
|---|---|
| 最小サイズ | 1.5 µm |
| アライメント精度（1 cm2 造形範囲） | 2 µm |
| 最大露光範囲 | 70 x 70 mm2 |
| 基板サイズ | 最大4インチ |
| 書込み速度 | 77 mm2/min |
| システム寸法 | W 52 cm ; D 52 cm ; 69 cm |
Microlight3D
