ピエゾを利用した自動スリット。高速・精密に開閉可能。
高速・精密ピエゾシャッター・可変スリット
モデル | 最大開口 | 分解能 | センサータイプ |
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PZS1 | 230um | 0.5nm | – |
PZS1 SG | 230um/190um | 0.5nm/3nm | SG |
PZS2 | 60um | 0.01nm | – |
PZS2 SG | 60um/50um | 0.01nm/0.8nm | SG |
PZS3 | 1500um | 3nm | – |
PZS4 | 300um | 0.6nm | – |
PZS4 SG | 240um | 0.6nm/8nm | SG |
Piezosystem Jena