1.5kg耐荷重のZステージ!
自動ステージ Xeryon 高耐荷重ピエゾ超音波Zステージ
稼働軸 | 1軸 |
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ストローク | 10mm |
分解能 | 1.25µm~1nm |
推進力 | 15N |
サイズ | 80x80x40㎜ |
真空オプション | 10^-9mbar |
Xeryon
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1.5kg耐荷重のZステージ!
稼働軸 | 1軸 |
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ストローク | 10mm |
分解能 | 1.25µm~1nm |
推進力 | 15N |
サイズ | 80x80x40㎜ |
真空オプション | 10^-9mbar |
Xeryon
コンパクトで正確なピエゾ回転ステージ
分解能 | 3~109μrad |
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回転速度 | 12 ~720度/s |
サイズ | 40x35x21(mm)~50x46x21(㎜) |
Xeryon
長寿命でノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いた精密ステージです。ほとんどのピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、完全に無音にします。またXeryon製の回転やリニアステージの組み合わせやインストール操作がとても簡単です。
稼働軸 | 3軸 |
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ストローク | 10~120mm |
分解能 | 1.25µm~1nm |
推進力 | 1~3N |
サイズ | 30x34x13㎜~120x49x13㎜ |
真空オプション | 10^-6mbar |
Xeryon
世界最小級、わずか6g!クローズドループ制御可能の高速アクチュエーター
ストローク | 5-185mm |
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保持力 | 1N/3N |
アクチュエーター材質 | 陽極酸化アルミニウム(ハウジング)、ステンレススチール(ロッド、ハウジングカバー) |
寸法 | 22.7 x 14.8 x 5.4 mm(アクチュエーター部分) |
Xeryon