レーザー加工時に発生したパーティクルからステージを守る純正シールド
レーザー加工機用パーティクルシールド
XY Monolithic向け | スタンダード: 200mmXY, 300mmXY用 カスタムでその他のステージに対応可 |
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詳細仕様はお問い合わせください。
ALIO Industries
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レーザー加工時に発生したパーティクルからステージを守る純正シールド
XY Monolithic向け | スタンダード: 200mmXY, 300mmXY用 カスタムでその他のステージに対応可 |
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詳細仕様はお問い合わせください。
ALIO Industries
長ストローク高精度ステージ
ストローク | 100-600㎜ 600㎜以上のカスタム対応可能 |
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ステージ幅 | 選べる3サイズ5サイズ |
モータタイプ | 選べる2タイプ |
走り精度 | お問い合わせください。 |
繰り返し精度 | お問い合わせください |
ALIO Industries
小型高剛性3軸ステージ
Xストローク | 30㎜ | 60㎜ |
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Yストローク | 30㎜ | 60㎜ |
Zストローク | 30㎜ | 30㎜ |
繰り返し精度 | ±30nm | ±30nm |
最大負荷 | お問い合わせください。 | |
走り精度 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
エアベアリング搭載Z軸ステージ
ストローク | お問い合わせください。 |
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繰り返し精度 | お問い合わせください。 |
走り精度 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
長ストロークZ軸ステージ
ストローク | 50-350mm |
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繰り返し精度 | <±100nm、<1.0um (モーターによる) |
走り精度 | お問い合わせください。 |
最大負荷 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
小型高剛性Z軸ステージ
ストローク | 6-50mm |
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繰り返し精度 | ±45nm |
走り精度 | お問い合わせください。 |
最大負荷 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
小型ハイパワー回転ステージ
ステージ径 | 56-208mm |
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繰り返し精度 | ±0.3秒 (nano Option時) |
最高速度 | 1800°/秒 |
メカニカルエラー | お問い合わせください。 |
最大負荷 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
リニアモーター搭載で超大口径アパチャ薄型ステージ
開口径 | φ100, 300mm |
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変位角度 | ±7.5°, ±5° |
繰り返し精度 | < ±0.2秒 (nano Option時) |
メカニカルエラー | お問い合わせください。 |
最大負荷 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
比類なきTrue nano グレードのプラナーステージ
詳細仕様はお取合せください。
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True nano Tech 薄型高剛性ステージ
ストローク | 30-450㎜ |
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繰り返し精度 | ±30nm |
走り精度 | お問い合わせください。 |
最大速度 | お問い合わせください。 |
ALIO Industries
ハイアングル対応、高速ジンバル駆動ステージ
詳細仕様はお問い合わせください。
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ハイエンド汎用ガントリー
XYストローク | 200-700㎜ (スタンダード) 1m以上のカスタム対応可 |
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最大速度 | お問い合わせください |
精度 | お問い合わせください |
ALIO Industries
Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
XYストローク | 60-400mm |
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Zストローク | <206mm |
チルト | <±30° |
繰り返し精度 | ±80nm (6D Point repeatability準拠) カスタムにてより高精度対応可能 |
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