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ユニークデザインで高剛性なXY2軸ピエゾステージ
| モデル | ストローク[um] | 開口[mm] | センサータイプ |
|---|---|---|---|
| PXY D12 | 40/-、80/65、200/160 | SG | |
| PXY16 | 16/12 | φ66 | – |
| PXY16 OEM | 16/12 | L字 | CAP |
| PXY36 | 36/30 | 50ｘ50mm | – |
| PXY38 | 38/32 | – | SG, CAP |
| ScanXY40 | 40 | φ15mm | – |
| PXY100 | 100/90 | – | SG, CAP |
| PXY102 | 100/80 | φ40mm | SG, CAP |
| PXY200 | 200/160 | φ28mm | SG |
| PXY201 | 250/200 | 30ｘ30mm | CAP |
| PXY400 | 400 | 22x22mm | – |
詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
小型長ストロークXYZ3軸ピエゾステージ
| モデル | ストロークum(オープン/クローズ) | 開口 | センサータイプ |
|---|---|---|---|
| MicroTritor | 9 | – | – |
| miniTritor | 38 | – | – |
| Tritor38 | 38/30 | – | SG |
| Tritor50 | 50/40 | – | – |
| Tritor100 | 100/80 | – | SG, CAP |
| Tritor102 | 100/80 | φ40㎜ | SG, CAP |
| Tritor320 | 50X50Y400Z/40X40Y320Z | 150x150mm | CAP |
| Tritor400 | 400/320 | 12.5㎜ | SG, CAP |
詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
標準品のマイクロメーターに取り付けて、微動制御が可能
| モデル | ストローク | 分解能 | 発生力 |
|---|---|---|---|
| MICI80 | 80um | 0.1nm | 216N |
| MICI80SG | 80um / 64um | 0.1nm/2nm | 216N |
| MICI180 | 180um | 0.4nm | 144N |
| MICI180SG | 180um / 144um | 0.4nm/4nm | 144N |
| MICI200 | 250um | 250um | 110N |
| MICI200SG | 250um / 200um | 250nm/200nm | 110N |
Piezosystem Jena
3軸ピエゾ高速ティルトステージ
| モデル | ストローク[mrad] | Z軸ストローク[um] | センサータイプ |
|---|---|---|---|
| PSH 1 | 1 | – | SG |
| PSH 1z | 1 | 8 | SG |
| PSH 2 | 2 | – | SG |
| PSH 2z | 2 | 16 | SG |
| PSH 3 | 3 | – | SG |
| PSH 3z | 3 | 26 | SG |
| PSH 4 | 4 | – | SG |
| PSH 4z | 4 | 33 | SG |
| PSH 8 | 8 | – | SG |
| PSH 8z | 8 | – | SG |
詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。
Piezosystem Jena
コンパクトな筐体に5軸を搭載したピエゾステージ
| モデル | ストローク[um] | 開口[mm](φ) | センサータイプ |
|---|---|---|---|
| PENTOR | 100 | 17 | – |
| PENTOR SG | 100 | 17 | SG |
Piezosystem Jena
高剛性精密回転ピエゾステージ
| モデル | ストローク[mrad] | 開口[mm] | センサータイプ |
|---|---|---|---|
| ROTOR 10 | 11 | φ3 | – |
| ROTOR 10SG | 9 | φ3 | SG |
Piezosystem Jena
モノリシックキャビティ狭線幅DPSS（半導体励起固体）レーザーおよび高速変調可能半導体レーザーモジュール
