ユニークデザインで高剛性なXY2軸ピエゾステージ
自動ステージ Piezosystem Jena XYピエゾステージ
モデル | ストローク[um] | 開口[mm] | センサータイプ |
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PXY D12 | 40/-、80/65、200/160 | SG | |
PXY16 | 16/12 | φ66 | – |
PXY16 OEM | 16/12 | L字 | CAP |
PXY36 | 36/30 | 50x50mm | – |
PXY38 | 38/32 | – | SG, CAP |
ScanXY40 | 40 | φ15mm | – |
PXY100 | 100/90 | – | SG, CAP |
PXY102 | 100/80 | φ40mm | SG, CAP |
PXY200 | 200/160 | φ28mm | SG |
PXY201 | 250/200 | 30x30mm | CAP |
PXY400 | 400 | 22x22mm | – |
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Piezosystem Jena